[发明专利]一种具有光热效应的超疏水薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种具有光热效应的超疏水薄膜，其特征在于，该薄膜是由利用电子束蒸镀的倾斜生长方法制备的一层具有光热效应的纳米结构的光热材料和一层低表面能物质组成的复合纳米薄膜；

所述光热材料为氮化钛、银或铜；所述低表面能物质为聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯；

所述光热材料的纳米结构为直棒、斜棒或螺旋棒阵列，沉积厚度为200~2000nm；低表面能物质的纳米结构为直棒、斜棒或螺旋棒阵列，沉积厚度为100~1000nm；所述电子束蒸镀的倾斜生长方法制备光热材料时电子束入射角为80~89°，所述电子束蒸镀的倾斜生长方法制备低表面能物质时电子束入射角为80~88°。

2.一种如权利要求1所述的具有光热效应的超疏水薄膜的制备方法，其特征在于，包括步骤如下：

（1）利用电子束蒸镀的倾斜生长方法，在基底上沉积所述光热材料；

（2）转换蒸发材料，在所述光热材料的顶端沉积低表面能物质，得到复合纳米结构作为具有光热效应的超疏水薄膜。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（1）中利用倾斜生长方法制备所述光热材料的方法为：采用氮化钛、银或铜为靶材，将电子束蒸发镀膜机腔室抽至10^－5Pa以下的高真空，调整电子束入射角为80~89°，并使样品台静止或以2~10 rpm的速率匀速旋转，利用电子束蒸镀在基底上沉积所述光热材料。

4.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤（2）中利用倾斜生长方法制备低表面能物质的方法为：转换蒸发材料为聚四氟乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯，调整电子束入射角为80~88°，并使样品台静止或以2~10 rpm的速率匀速旋转，在所述光热材料的顶端沉积低表面能物质。