[发明专利]一种曝光机及其焦距检测方法

权利要求书

1.一种曝光机，所述曝光机包括多个激光头，其特征在于，所述曝光机的各所述激光头设置有至少三个中心不在一条直线上的探测传感器，以用于根据所述探测传感器到探测区的垂直距离来确定对应的所述激光头的焦距。

2.如权利要去1所述的曝光机，其特征在于，各所述探测传感器的探测面积大于5μm。

3.如权利要去1所述的曝光机，其特征在于，各所述探测传感器的探测面积大于或等于50μm且小于100μm。

4.如权利要去1所述的曝光机，其特征在于，所述探测传感器的探测面为椭圆形。

5.一种如权利要求1-4任一项所述的曝光机的焦距检测方法，其特征在于，包括：

针对各所述激光头，在每一次调焦时获取其对应的各所述探测传感器到探测区的垂直距离；

第n次调焦时所述激光头的焦距根据当前次获取的至少一个所述探测传感器到探测区的垂直距离以及上一次调焦时获取的至少一个所述探测传感器到探测区的垂直距离计算；其中n为大于1的整数；

第1次调焦时所述激光头的焦距根据第一次获取的至少一个所述探测传感器到探测区的垂直距离计算。

6.如权利要求5所述的焦距检测方法，其特征在于，第n次调焦时所述激光头的焦距F(n)具体根据如下公式计算：

其中，

K_n为卡尔曼增益系数，N为大于或等于1且小于或等于M的任意整数，M为所述激光头对应的探测传感器的数量，j为大于或等于1的任意整数，L_i(j)为第j次调焦时获取的第i个所述探测传感器到探测区的垂直距离，χ_i(j)为L_i(j)对应的权重系数。

7.如权利要求6所述的焦距检测方法，其特征在于，L_i(j)越大，对应的χ_i(j)越小。

8.如权利要求7所述的焦距检测方法，其特征在于，N等于M。

9.如权利要求7所述的焦距检测方法，其特征在于，N小于M，且计算S(j)时，L₁(j)至L_N(j)的值取M个所述探测传感器到探测区的垂直距离中数值由大到小依次排序中的前N个值。

10.如权利要求5-9任一项所述的焦距检测方法，其特征在于，第1次调焦时所述激光头的焦距F(1)根据如下公式计算：

其中，N为大于或等于1且小于或等于M的任意整数，M为所述激光头对应的探测传感器的数量，L_i(1)为第1次调焦时获取的第i个所述探测传感器到探测区的垂直距离，χ_i(1)为L_i(n)对应的权重系数。

11.一种如权利要求1-4任一项所述的曝光机的焦距检测方法，其特征在于，包括：

针对各所述激光头，在每一次调焦时获取其对应的各所述探测传感器到探测区的垂直距离；

根据获取的至少一个所述探测传感器到探测区的垂直距离计算当前所述激光头的焦距。

12.如权利要求11所述的焦距检测方法，其特征在于，根据获取的N个所述探测传感器到探测区的垂直距离通过公式：计算当前所述激光头的焦距F；

其中，N为大于或等于2且小于或等于M的任意整数，M为所述激光头对应的探测传感器的数量，L_n为第n个所述探测传感器到探测区的垂直距离，χ_n为L_n对应的权重系数；L_n越大，对应的权重系数χ_n越小。