[发明专利]一种超精密静压线轨系统在审
| 申请号： | 201910180906.9 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN109707732A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 周春强;吴小华;张一博;卢诗毅;刘强;李克天;曾建军;张平 | 申请（专利权）人： | 佛山艾克斯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F16C29/02 | 分类号： | F16C29/02 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超;黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区丹灶镇南海国*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静压 线轨 滑块本体 静压油腔 线轨滑块 节流组件 超精密 高压油液 下表面 长线 内壁 油液 连通 穿过 保证 | ||
1.一种超精密静压线轨系统，其特征在于，包括:静压线轨、静压线轨滑块以及节流组件，所述静压线轨滑块包括滑块本体，所述滑块本体的下表面上开设有用于供静压线轨穿过的凹槽，所述凹槽的内壁面上设置有多个静压油腔，所述节流组件设置于该滑块本体上并与所述多个静压油腔分别连通，以将根据输入的油液给各个所述静压油腔提供高压油液。
2.根据权利要求1所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述凹槽的内壁面上设置有附加层，所述静压油腔开设于所述附加层上。
3.根据权利要求1所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述凹槽包括一底面以及与所述底面连接的两个相对设置的侧壁面；
所述多个静压油腔分别设置于所述底面以及所述侧壁面上。
4.根据权利要求3所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，每一所述侧壁面包括第一垂直侧壁面、第一倾斜侧壁面、第二倾斜侧壁面以及第二垂直侧壁面；
所述第一倾斜侧壁面、所述第一垂直侧壁面、所述第二倾斜侧壁面、第二垂直侧壁面以及所述底面依次连接，所述第二倾斜侧壁面朝向靠近另一所述侧壁面的方向倾斜，所述第一倾斜侧壁面朝向远离另一所述侧壁面的方向倾斜，所述第一垂直侧壁面与所述第二垂直侧壁面共面且与所述底面垂直。
5.根据权利要求4所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述底面、所述第一垂直侧壁面、第一倾斜侧壁面、第二倾斜侧壁面、第二垂直侧壁面以及所述底面上分别设置有一所述静压油腔。
6.根据权利要求5所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述滑块本体设置有多个静压油液通道，所述节流组件分别通过一所述静压油液通道与一所述静压油腔连通。
7.根据权利要求1所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，所述节流组件为薄膜节流器。
8.根据权利要求1所述的超精密静压线轨系统，其特征在于，每一所述静压油腔均呈条状，且所述静压油腔沿着所述凹槽的轴向延伸。
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