[发明专利]一种光电子芯片的封装结构有效
| 申请号: | 201910179161.4 | 申请日: | 2019-03-08 |
| 公开(公告)号: | CN109935555B | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
| 发明(设计)人: | 韩雪妍;张志珂;赵泽平;刘建国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周天宇 |
| 地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光电子 芯片 封装 结构 | ||
一种光电子芯片的封装结构,包括:载板(1),包括基板平面(11)以及凹槽(12),基板平面(11)高于凹槽(12)并与凹槽(12)平行;高频电路(2),固定于基板平面(11)上,高频电路(2)包括电路载体(21)和薄膜电路(22),其中,薄膜电路(22)设于电路载体(21)上,薄膜电路(22)上设有多个通道,多个通道的一端用于与光电子芯片(5)通道一一对应连接;接头(3),固定于载板(1)的基板平面(11)侧,接头(3)包括多个绝缘子(31),多个绝缘子(31)与薄膜电路(22)的多个通道的另一端对应连接;垫片(4),其设于凹槽(12)内,用于承载光电子芯片(5)。该封装结构简单,有效降低了封装成本和封装时间。
技术领域
本发明涉及光电子或微电子器件技术领域,尤其涉及一种光电子芯片的封装结构。
背景技术
对于多通道阵列集成光电子芯片,其高频封装相当复杂,涉及到机械保护、热隔离、电连接、光耦合、电磁屏蔽等技术,如果采用传统的管壳的形式进行封装,然而管壳的设计加工周期长,往往在三个月甚至半年以上,代价大,同时,一旦设计加工完毕,只能应用于特定集成芯片,针对性强,任务单一,另外管壳一般采用高频陶瓷管,价格昂贵,只能适用于对可靠性要求严格的场景,而对于可靠性要求不高,且任务周期短的应用场景,传统的管壳显然不是最佳选择。
发明内容
(一)要解决的技术问题
针对以上问题,本发明提供了一种光电子芯片的封装结构,该结构有效降低了封装成本和封装时间。
(二)技术方案
本发明提供了一种光电子芯片的封装结构,包括:载板1,包括基板平面11以及凹槽12,基板平面11高于凹槽11并与凹槽12平行;高频电路2,固定于基板平面11上,高频电路2包括电路载体21和薄膜电路22,其中,薄膜电路22设于电路载体21上,薄膜电路22上设有多个通道,多个通道的一端用于与光电子芯片5通道一一对应连接;接头3,固定于载板1的基板平面11侧,接头3包括多个绝缘子31,多个绝缘子31与薄膜电路22的多个通道的另一端对应连接;垫片4,其设于凹槽12内,用于承载光电子芯片5。
可选地,接头3还包括固定结构32,固定结构32上设有多个同轴接头33,同轴接头33与绝缘子31一一对应连接,其同心度偏差小于或等于0.05mm。
可选地,同轴接头33的类型为GPPO、SMA以及K型中的一种或多种。
可选地,垫片4的宽度与凹槽12的宽度相同,均等于光电子芯片5的宽度。
可选地,垫片4与光电子芯片5的厚度之和等于凹槽12的深度与高频电路2的厚度之和。
可选地,薄膜电路22的通道为微带线结构或共面波导结构。
可选地,薄膜电路22的材料为金,电路载体21的材料为氮化铝、氧化铝以及碳化硅中的一种。
可选地,基板平面11和凹槽12表面均镀金,且其粗糙度小于1.6。
可选地,绝缘子31的数量大于或等于光电子芯片5通道的数量。
可选地,载板1的材料为钨铜、铜或可伐合金中的一种,垫片4的材料为钨铜、铜或可伐合金中的一种。
(三)有益效果
本发明提供了一种光电子芯片的封装结构,该结构中通过设计接头(3)、载板(1)、高频电路(2)等简单的结构即可实现光电子芯片(5)的封装,有效降低了封装成本和封装时间。
附图说明
图1示意性示出了本公开实施例中的光电子芯片的封装结构的示意图;
图2示意性示出了本公开实施例中的光电子芯片的封装结构中的载板1的结构示意图;
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