[发明专利]一种对位标识、显示基板母板及对位方法在审
| 申请号： | 201910178193.2 | 申请日： | 2019-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN111665690A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 冯京;栾兴龙;刘鹏;王志冲;李付强;袁广才;董学 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 对位 标识 显示 母板 方法 | ||
1.一种对位标识，其特征在于，包括：条状设置的多条标记部；其中，至少两条所述标记部相交于同一交点；
所述相交于同一交点的标记部中的至少两条具有间隔排列的多个子标记部。
2.如权利要求1所述的对位标识，其特征在于，覆盖所述交点的子标记部为第一子标记部，除所述交点处的子标记部之外的其余子标记部为第二子标记部，同一所述标记部中，所述第一子标记部的图形与所述第二子标记部的图形不同。
3.如权利要求2所述的对位标识，其特征在于，同一所述标记部中，各所述第二子标记部沿所述标记部的延伸方向排列，且各所述第二子标记部的延伸方向与所述标记部的延伸方向具有大于0°且小于或等于90°的夹角。
4.如权利要求2所述的对位标识，其特征在于，同一所述标记部中，各所述第二子标记部沿垂直于所述标记部的延伸方向排列，且各所述第二子标记部的延伸方向与所述标记部的延伸方向相同。
5.如权利要求2所述的对位标识，其特征在于，所述标记部中覆盖同一交点的第一子标记部共用同一个子标记部。
6.如权利要求5所述的对位标识，其特征在于，所述第一子标记部的尺寸大于所述第二子标记部的尺寸。
7.如权利要求2所述的对位标识，其特征在于，各所述第二子标记部的图形相同。
8.如权利要求1-7任一项所述的对位标识，其特征在于，部分所述标记部相交于同一交点，其余所述标记部均匀分布于相邻的两个具有同一交点的标记部之间的间隙中。
9.如权利要求1-7任一项所述的对位标识，其特征在于，各所述标记部相交于同一交点。
10.如权利要求1-7任一项所述的对位标识，其特征在于，所述相交于同一交点的标记部中任意相邻的两条标记部之间的夹角相同。
11.如权利要求1-7任一项所述的对位标识，其特征在于，各所述标记部分别具有间隔排列的多个子标记部。
12.如权利要求1-7任一项所述的对位标识，其特征在于，各所述标记部由所述交点所在中心向四周呈放射状延伸。
13.一种显示基板母板，其特征在于，包括：非显示区和多个显示区；所述非显示区包括至少四个对位标识；其中，所述对位标识为如权利要求1-12任一项所述的对位标识。
14.如权利要求13所述的显示基板母板，其特征在于，所述对位标识分别位于所述衬底基板的边角。
15.一种显示基板母板的对位方法，其特征在于，包括：
在所述显示基板母板的非显示区中形成至少四个对位标识；其中，所述对位标识为如权利要求1-12任一项所述的对位标识；
根据形成的所述对位标识，控制所述显示基板母板与曝光机的曝光系统进行对位。
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