[发明专利]温度控制方法及系统有效
| 申请号: | 201910175517.7 | 申请日: | 2019-03-05 |
| 公开(公告)号: | CN111665882B | 公开(公告)日: | 2022-04-22 |
| 发明(设计)人: | 梁彦 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | G05D23/22 | 分类号: | G05D23/22 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 温度 控制 方法 系统 | ||
1.一种温度控制方法,用于控制腔室的温度变化,其特征在于,所述方法包括:建立模型的步骤:控制腔室加热装置以向所述腔室输出不同测试功率值,获取与各个所述测试功率值所对应的所述腔室的实际温度值,根据所述实际温度值与所述测试功率值之间的关系建立模型,所述模型用于表示腔室温度与加热功率之间的非线性正关系;
基于所述模型计算得到全局参数表,所述全局参数表用于表示腔室温度值与加热功率值的对应关系;
根据所述全局参数表控制所述腔室加热装置输出的加热功率值,以控制所述腔室的温度变化;
所述方法还包括:
在设定周期内,获取所述腔室温度的实际值和所述加热功率的实际值;
基于所述腔室温度的实际值和所述加热功率的实际值进行线性拟合,以获得新的全局参数表,并对原来的所述全局参数表进行更新;
计算所述新的全局参数表中的腔室温度值与原来的所述全局参数表中的腔室温度值的差值,并判断该差值是否超出设定阈值,若否,则确定所述腔室的环境正常;若是,确定所述腔室的环境异常。
2.根据权利要求1所述的温度控制方法,其特征在于,所述建立模型的步骤进一步包括:
建立腔室温度与加热功率的关系式;
按预设规则控制所述腔室加热装置输出不同的测试功率值,直至腔室的实际温度值达到预设温度值,并在加热过程中检测与各个所述测试功率值相对应的实际温度值;
基于所述测试功率值以及所述实际温度值进行线性拟合,以获得所述关系式的系数,从而使所述关系式转换为函数关系式;
所述预设规则包括:
自定义功率函数,所述功率函数用于表示加热时间与所述测试功率值的对应关系;
其中,所述加热时间与所述测试功率值呈正比例关系。
3.根据权利要求2所述的温度控制方法,其特征在于,所述功率函数为分段函数;所述分段函数包括按预设时长划分的不同区间,每个区间对应的所述测试功率值按表示时间和功率的线性函数关系变化。
4.根据权利要求3所述的温度控制方法,其特征在于,同一区间对应的所述测试功率值固定不变,且各个相邻的两个区间对应的所述测试功率值的差值是所述腔室加热装置的满功率的百分之n,n大于0且小于100。
5.根据权利要求2所述的温度控制方法,其特征在于,所述腔室温度与加热功率的关系式为:
T=a*ebP+A0+A1P+A2P2+┄+AnPn;
其中,n为所述关系式的阶,T为所述腔室温度,P为所述加热功率,a、b、A0、A1、A2...An为所述关系式的系数。
6.一种温度控制系统,包括腔室加热装置,其特征在于,还包括:上位机与下位机;其中,
所述上位机用于控制所述腔室加热装置以向腔室输出不同测试功率值,获取与各个所述测试功率值所对应的所述腔室的实际温度值;根据所述实际温度值与所述测试功率值之间的关系建立模型,所述模型用于表示腔室温度与加热功率之间的关系;
所述上位机还用于基于所述模型计算得到全局参数表,并根据所述全局参数表向所述下位机输出控制信号;所述全局参数表用于表示腔室温度值与加热功率值的对应关系;
所述下位机用于接收所述控制信号,并根据所述控制信号控制所述腔室加热装置输出的加热功率值,以控制所述腔室的温度变化;
所述上位机还用于在设定周期内,获取所述腔室温度的实际值和所述加热功率的实际值;
基于所述腔室温度的实际值和所述加热功率的实际值进行线性拟合,以获得新的全局参数表,并对原来的所述全局参数表进行更新;
计算所述新的全局参数表中的腔室温度值与原来的所述全局参数表中的腔室温度值的差值,并判断该差值是否超出设定阈值,若否,则确定所述腔室的环境正常;若是,确定所述腔室的环境异常。
7.根据权利要求6所述的温度控制系统,其特征在于,所述下位机为可编程逻辑控制器。
8.根据权利要求6或7所述的温度控制系统,其特征在于,还包括:热电偶;
所述热电偶用于采集所述腔室的实际温度值,并向所述上位机发送所述实际温度值;
所述上位机还用于根据所述实际温度值建立模型。
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