[发明专利]基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法

权利要求书

1.一种利用光学元件弱吸收测试装置进行光学元件弱吸收的测试方法，该装置包括泵浦激光器(1)、第一反射镜(2)、第二反射镜(3)、第一泵浦光功率计(4)、第二泵浦光功率计(5)、红外热像仪(7)、探测激光器(10)、分束镜(8)和探测光功率计(9)；所述的泵浦激光器(1)输出的激光经过第一反射镜(2)反射后到达样品(6)表面，经样品(6)反射的反射光入射到第二反射镜(3)，经该第二反射镜(3)反射后由第一泵浦光功率计(4)接收，经样品(6)透射的激光由第二泵浦光功率计(5)接收；所述的第一泵浦光功率计(4)用于测试样品表面反射的泵浦激光功率；所述的第二泵浦光功率计(5)用于测试通过样品的透射泵浦激光功率；所述的探测激光器(10)输出的激光经所述的分束镜(8)1:1分束，分为透射光和反射光，该反射光由所述的探测光功率计(9)接收并测量，该透射光入射到样品(6)表面，上述反射光功率与样品表面的辐照功率相等；所述的红外热像仪(7)用于观测样品(6)表面的温度；其特征在于，该方法包括如下步骤：

①打开泵浦激光器(1)，使输出的泵浦激光经第一反射镜(2)反射后辐照样品(6)表面；

②加热样品(6)，使其表面温度升高，待温度稳定后，利用红外热像仪(7)测试样品(6)表面的最高温度T，并记录下第一泵浦光功率计(4)测试的反射功率P₁与第二泵浦光功率计(5)测试的透射功率P₂；

③将样品(6)冷却至室温，打开探测激光器(10)，使输出的激光经分束镜(8)透射后辐照样品(6)表面；

④调节探测激光的辐照功率，当样品表面温度到达泵浦激光辐照下的温度T时，读取探测光功率计(9)的功率P₃；

⑤计算样品表面弱吸收率S，公式如下：

S＝P₃/(P₁+P₂)。

2.根据权利要求1所述的光学元件弱吸收的测试方法，其特征在于：所述的样品(6)对10.6um的激光吸收率近似为1。