[发明专利]晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法

权利要求书

1.晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，先通过预处理在硅片表面形成一层氧化铝颗粒层，再对预处理后的硅片进行碱制绒，得到类倒金字塔绒面结构；所述预处理采用涂刷工艺；所述氧化铝颗粒层主要由分散的氧化铝颗粒组成。

2.根据权利要求1所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述氧化铝颗粒的粒径为0.5～50μm。

3.根据权利要求1所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述氧化铝颗粒层的厚度为0.5～80μm。

4.根据权利要求1、2或3所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述涂刷工艺包括如下步骤：将含有氧化铝颗粒的悬浮液涂刷至硅片表面，再经加热烘干，在硅片表面形成氧化铝颗粒层。

5.根据权利要求4所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述悬浮液由氧化铝颗粒分散于水中制得，悬浮液中氧化铝颗粒的质量浓度为0.5%～15%。

6.根据权利要求4所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述涂刷工艺中，加热烘干的温度为200～600℃，加热烘干的时间为5～30min。

7.根据权利要求1所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述碱制绒采用碱性制绒液对硅片进行制绒。

8.根据权利要求1所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，所述硅片为单晶硅片或多晶硅片。

9.根据权利要求1所述的晶体硅表面类倒金字塔绒面结构的制备方法，其特征在于，采用碱性制绒液对预处理后的硅片进行碱制绒，且碱性制绒液中含有制绒添加剂。