[发明专利]一种电子级盐酸生产方法

说明书

本发明提供了一种电子级盐酸生产方法，依次包括如下步骤：1、将合成的氯化氢气体进入到吸附塔中，以除去游离氯；2、采用试剂级盐酸溶剂，从洗涤塔上部进口进入洗涤塔洗涤吸附后的氯化氢气体，以除去可溶性杂质；3、洗涤后的氯化氢气体经一级、二级冷凝，并进入除雾器，除去其中的水雾，得到高纯度的氯化氢气体；4、高纯度氯化氢经一级、二级降膜吸收器、尾气吸收塔吸收，再经盐酸冷却器后得到成品；5、吸收水采用超纯水；6、由步骤4所得到的成品进入成品储槽，再经过超滤去除颗粒杂质得到电子级盐酸。本发明提供的电子级盐酸生产方法，工艺简单，能够连续化生产，稳定性好，设备简单等特点。

技术领域

本发明涉及一种电子级盐酸生产方法，尤其涉及一种应用于大规模集成电路所需要的电子级盐酸生产方法。

背景技术

盐酸是氢氯酸的俗称，相对分子量为36.46，为无色透明的一元强酸，具有极强的挥发性、在空气中发烟，有刺激性气味、强腐蚀性等特点，易溶于水、乙醇、乙醚和油等。在常温下，浓盐酸中氯化氢的质量分数在37%左右，密度为1.18g/ml。电子级盐酸属于超净高纯试剂，是微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，主要用于大规模集成电路和光电产业。

超纯盐酸的制备工艺有等温扩散法、间歇蒸馏法、亚沸蒸馏法、精馏法、这些都是制备超纯盐酸所使用的工艺。等温扩散法和亚沸蒸馏法生产量小，在工业生产中没有实用价值，只适用于实验室制备超纯盐酸。间歇蒸馏法，存在效率、收率比较低的问题，且生产操作比较繁琐，不具备连续化大生产的能力。精馏法是可以连续化生产，但能耗较大、设备相对复杂、操作比较复杂、设备设计加工难度大。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种电子级盐酸生产方法，它可以实现大规模连续化生产、工艺简单、操作简单、耗能低、产品质量稳定。

本发明采用了以下技术方案：一种电子级盐酸生产方法，它包括如下步骤：

步骤一，将合成的氯化氢气体进入到吸附塔中，以除去游离氯；

步骤二，采用试剂级盐酸溶剂，从洗涤塔上部进口进入洗涤塔洗涤吸附后的氯化氢气体，以除去可溶性杂质；

步骤三，洗涤后的氯化氢气体经一级、二级冷凝，并进入除雾器，除去其中的水雾，得到高纯度的氯化氢气体；

步骤四，高纯度的氯化氢经一级、二级降膜吸收器、尾气吸收塔吸收，再经盐酸冷却器后得到成品，吸收水采用超纯水；

步骤四，由步骤四所得到的成品进入成品储槽，经过超滤去除颗粒杂质得到电子级盐酸。

所述步骤一中吸附塔的材质采用钢衬塑或钢衬胶，步骤一中吸附塔的吸附剂采用活性炭、硅胶或离子交换树脂。

所述步骤二中洗涤塔外壳采用碳钢材质，内衬材料采用衬塑防腐材料，衬塑防腐材料为PP材料、PO材料、PTFE材料或PFA材料。

所述步骤二中洗涤塔内填料装有聚四氟乙烯填料，填料型式可采用鲍尔环或拉西环，步骤二中洗涤塔顶部装有液体分布器。

所述步骤三中一级冷凝器的冷却介质是循环水，二级冷凝器的冷却介质是冷冻盐水，所述步骤三中除雾器采用钢衬塑，内衬材料采用衬塑防腐材料，衬塑防腐材料为PP材料、PO材料、PTFE材料或PFA材料，除雾器内部填料采用四氟填料。

所述步骤三中一级、二级降膜吸收器都采用圆块孔式石墨吸收器，圆块孔式石墨吸收器的外壳是碳钢，内件是圆柱形石墨块。

所述步骤三中尾气吸收塔采用填料吸收塔，用来吸收氯化氢尾气，填料的型式为陶瓷拉西环、石墨拉西环、聚丙烯鲍尔环、四氟填料、拉西环或鲍尔环，所述步骤三中盐酸冷却器采用圆块孔式石墨冷却器。

所述步骤四中超纯水的水电阻率大于18MΩ，其工艺采用超滤+二级反渗透+EDI工艺或超滤+二级反渗透+混床工艺。