[发明专利]一种物镜装置

权利要求书

1.一种物镜装置，其特征在于，包括：光线传播单元、气体供给单元和控制单元；

其中，所述光线传播单元包括沿光线传播方向依次排列的第一镜组、波前补偿器和第二镜组，光线由所述第二镜组出射；

所述第一镜组和/或所述第二镜组中设置有第一压力感应单元，所述波前补偿器内设置有第二压力感应单元，所述第一压力感应单元与所述第二压力感应单元分别与所述控制单元连接；

所述气体供给单元用于输出具有预设压力稳定度与预设纯度的气体，并供给至所述波前补偿器；

所述控制单元用于根据所述第一压力感应单元探测到的第一压力值与所述第二压力感应单元探测到的第二压力值调节所述气体供给单元的气体输出量，以使所述第一压力值与所述第二压力值的差值在预设压差阈值范围内。

2.根据权利要求1所述的物镜装置，其特征在于，所述气体供给单元包括顺次连接的第一调压子单元、第二调压子单元和气体回收子单元；

所述第一调压子单元用于过滤气体，并将具有初始预设压力的气体输出至第二调压子单元；

所述第二调压子单元用于在所述初始预设压力范围内稳定气体的压力，使气体的压力稳定在所述预设压力稳定度的范围内，并将具有预设压力稳定度和预设纯度的气体供给至所述波前补偿器；

所述气体回收子单元用于将流经所述波前补偿器的气体回收。

3.根据权利要求2所述的物镜装置，其特征在于，所述第一调压子单元包括质量流量控制器和纯化器；

所述质量流量控制器用于控制由所述第一调压子单元输出的气体的流量；

所述纯化器用于过滤气体。

4.根据权利要求3所述的物镜装置，其特征在于，所述纯化器设置于所述质量流量控制器与所述第二调压子单元之间。

5.根据权利要求3所述的物镜装置，其特征在于，所述第一调压子单元还包括调压阀；

所述调压阀连接于所述质量流量控制器远离所述第二调压子单元的一端。

6.根据权利要求2所述的物镜装置，其特征在于，所述第二调压子单元包括进气口、分流块主体、毛细管、分气口以及测量口；

所述进气口与所述第一调压子单元的气体输出端连接，所述进气口、所述分气口以及所述测量口分别设置于所述分流块主体的一侧；

所述毛细管设置于所述分流块主体上且与所述分气口相对的一侧，所述毛细管的一端与所述分流块主体包围的腔室连接，所述毛细管的另一端与所述分气口连接；所述毛细管用于稳定气体的压力至预设压力稳定度；

所述分气口用于输出气体；

所述测量口用于测量输出的气体的压力。

7.根据权利要求6所述的物镜装置，其特征在于，所述毛细管的数量为多个，所述分气口的数量为多个；所述毛细管与所述分气口一一对应设置。

8.根据权利要求2所述的物镜装置，其特征在于，还包括第三压力感应单元和第四压力感应单元，所述第三压力感应单元与所述第四压力感应单元分别与所述控制单元连接；

所述第三压力感应单元设置于所述第一调压子单元内，所述第四压力感应单元设置于所述第二调压子单元内；所述第三压力感应单元用于将探测到的所述第一调压子单元输出的气体的第三压力值传输至控制单元，所述第四压力感应单元用于将探测到的第二调压子单元输出的气体的第四压力值传输至控制单元；

所述控制单元用于监控所述第一压力值、所述第二压力值、所述第三压力值以及所述第四压力值。

9.根据权利要求8所述的物镜装置，其特征在于，所述第一压力感应单元、所述第二压力感应单元、所述第三压力感应单元和所述第四压力感应单元分别为压力传感器。

10.根据权利要求1所述的物镜装置，其特征在于，所述预设压力稳定度的范围为-10Pa至10Pa，所述预设纯度为5N-6N。