[发明专利]膜层厚度的确定方法

说明书

本发明涉及光学镀膜技术领域，具体涉及膜层厚度的确定方法，该方法包括提供至少一个平面标准件；所述平面标准件包括至少一层镀膜层，各所述镀膜层与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺形成；根据所述平面标准件的参数确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度，所述参数包括所述镀膜层厚度及光学参数中一个。利用平面标准件作为待测试件每层镀膜层的厚度的确定基准，由于平面标准件与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺且平面标准件的镀膜层厚度或光学参数可以测定得到，通过平面标准件的镀膜层厚度或光学参数就可以确定出待测试件的每层镀膜层的厚度。即利用平面标准件的膜层厚度来反推待测试件的膜层厚度，达到质量管控、品质管理的目的。

技术领域

本发明涉及光学镀膜技术领域，具体涉及膜层厚度的确定方法。

背景技术

随着煤、石油、天然气等能源日益枯竭和环境污染日益加剧，人们迫切需要寻找清洁可再生新能源。作为地球无限可再生的无污染能源，即太阳能的应用日益引起人们的关注，将太阳能转化为电能的太阳能电池的研制得到了迅速发展。例如，基于溅射法的CIGS薄膜太阳能电池(即，铜铟镓硒薄膜太阳能电池)因为其轻、柔、薄、弱光发电性等特点，在移动能源产品中的应用越来越广泛，比如消费电子产品、建材产品等。

在这种前提下，兼具建筑装饰和发电功能的太阳能发电瓦应运而生。我国幅员辽阔，各地由于历史传统或者风俗习惯等原因，坡屋面上的瓦会倾向于不同的颜色，这就要求太阳能发电瓦具有不同的颜色以供客户选择。

彩色太阳能发电瓦的镀膜膜层往往由不同层数的膜层构成，且每层的靶材、膜层厚度也不相同。例如砖红色的镀膜膜层需要采用6到12层、金色的镀膜膜层需要采用6层，蓝色的镀膜膜层需要采用12层等等。

在镀膜完成之后需要对镀膜膜层的厚度进行确定，以保证后续镀膜过程中工艺参数的重复性。现有技术中一般是采用磁感应远离、电涡流原理等进行镀膜膜层的厚度的确定；具体地，所有镀膜膜层作为一个整体，进行整体厚度的确定。然而，如上文所述，由于不同颜色的需求，镀膜膜层的层数、膜层厚度以及每层靶材的材料不同，即使是整体厚度相同的膜层，各个膜层之间也会存在不同厚度的组合。因此，现有膜层厚度的确定方法无法实现对单层膜层厚度的确定。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种膜层厚度的确定方法，以解决现有膜层厚度的确定方法无法实现对单层膜层厚度的确定的问题。

根据第一方面，本发明实施例提供了一种膜层厚度的确定方法，包括：

提供至少一个平面标准件；其中，所述平面标准件包括至少一层镀膜层，各所述镀膜层与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺形成；

根据所述平面标准件的参数确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度，所述参数包括所述镀膜层厚度及光学参数中一个。

本发明实施例提供的膜层厚度的确定方法，利用平面标准件作为待测试件每层镀膜层的厚度的确定基准，由于平面标准件与待测试件对应的镀膜层采用相同的镀膜工艺且平面标准件的镀膜层厚度或光学参数可以测定得到，那么通过平面标准件的镀膜层厚度或光学参数就可以确定出待测试件的每层镀膜层的厚度。即利用平面标准件的膜层厚度来反推待测试件的膜层厚度，达到质量管控、品质管理的目的。

结合第一方面，在第一方面第一实施方式中，所述根据所述平面标准件的镀膜层的厚度，确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度，包括：

依次测定各所述平面标准件的镀膜层的厚度；

利用各所述平面标准件的镀膜层的厚度之间的差值确定所述待测试件的每层镀膜层的厚度。