[发明专利]一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器

权利要求书

1.一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器，其特征在于：该传感器包括铝合金支撑外壳(1)、导电银胶(2)、压电敏感单元(3)、压电敏感单元所在腔体(4)、排线槽(5)、支撑腔体(6)、通线孔(7)、型腔(8)、固定垫片(10)、加速度传感器(11)、铝合金底座(9)、固定螺栓孔(12)、总线孔(13)、振动台面(14)、底座支柱(15)；

压电敏感单元(3)为传感器的核心部件，压电敏感单元(3)放置于压电敏感单元所在腔体(4)中，导电银胶(2)连接铝合金支撑外壳(1)和压电敏感单元(3)的负极，排线槽(5)位于各压电敏感单元所在腔体(4)底部，负责导出各压电敏感单元(3)的正极引线，排线槽(5)中心处下部对应通线孔(7)，负责导出排线槽(5)引出的正极引线，支撑腔体(6)在振动台面下起支撑振动台面(14)、连接铝合金底座(9)的作用，型腔(8)为支撑腔体(6)内部空间，减小整体重量的同时引出通线孔(7)引出的导线，最下部铝合金底座(9)内部底座支柱(15)上固定有加速度传感器(11)，加速度传感器(11)与底座(9)绝缘，其正负极引线分别引出，固定螺栓孔(12)位于底座下表面中心处，用于连接外部振动台，总线控(13)位于底座一侧中心位置，负责导出压电敏感单元(3)和加速度传感器(11)引出的所有导线。

2.根据权利要求1所述的一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器，其特征在于：铝合金支撑外壳(1)的振动台面(14)上表面为矩形，短边尺寸a₁＝70～100mm，长边尺寸b₁＝100～150mm，上台面边沿厚度d₁＝2～5mm，下表面同样为矩形，短边尺寸a₂＝60～90mm，长边尺寸b₂＝90～140mm，厚度d₂＝8～12mm；各压电敏感单元所在腔体(4)底部含有排线槽(5)，排线槽(5)宽度l＝2～5mm，厚度d₃＝0.5～1.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器，其特征在于：压电敏感单元(3)的几何结构是横截面为圆形的圆柱体，其横截面直径为d₄＝6～8mm，高度h₁＝10～15mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器，其特征在于：压电敏感单元所在腔体(4)为圆柱形空腔，直径d₅＝7～9mm，高度h₂＝9～16mm，其内部采用导电银胶(2)与压电敏感单元(3)相连。

5.根据权利要求1所述的一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器，其特征在于：支撑腔体(6)为含空腔圆柱体结构，外径d₆＝24～30mm，内径d₇＝21～27mm，高度h₃＝35～55mm，其上部有通线孔(7)，直径d₁₄＝2～6mm，厚度d₁₅＝1～3mm。

6.根据权利要求1所述的一种用于PIND的压电振动平台阵列式传感器，其特征在于：加速度传感器(11)与底座(9)绝缘，其正负极引线分别引出，加速度传感器外径d₁₀＝5～15mm，内径d₁₁＝3～12mm，厚度h₆＝1～5mm。