[发明专利]一种氧化锌导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种氧化锌导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：

1)采用水热合成法，在衬底上生长一层氧化锌纳米结构阵列，得到衬底-氧化锌纳米薄膜；

2)采用磁控溅射法在所述衬底-氧化锌纳米薄膜上沉积三氧化铝层，得到衬底-氧化锌纳米结构阵列-三氧化铝薄膜；

3)采用磁控溅射法在所述衬底-氧化锌纳米结构阵列-三氧化铝薄膜上沉积铝掺杂氧化锌层，得到氧化锌导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述衬底为聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚碳酸酯。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述衬底在使用前进行超声清洗，所述超声的功率为30～50kHz，时间为25～35min。

4.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述水热合成法的步骤包括：

将六水合硝酸锌、六亚甲基四胺和水混合，得到前驱体溶液；

将衬底浸没于所述前驱体溶液中，进行水热反应，得到衬底-氧化锌薄膜。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述六水合硝酸锌和六亚甲基四胺的摩尔比为1:0.5～2。

6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述水热反应的温度为70～100℃，时间为4～6h。

7.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述混合在搅拌条件下进行，所述搅拌的转速为500～800rpm，时间为30～60min。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中磁控溅射法的溅射气压为0.1Pa，Ar气体流量为30sccm，溅射功率为80～150W，沉积时间为10～50min。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中磁控溅射法的溅射气压为0.1Pa，Ar气体流量为30sccm，溅射功率为90～140W，沉积时间为20～40min。

10.根据权利要求1或9所述的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中磁控溅射法的靶材为氧化锌和铝的混合物，所述氧化锌与铝的质量比为96:4～99.5:0.5。