[发明专利]一种引线键合工艺可靠性监测方法

权利要求书

1.一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，取用于测取金属线（3）与被键合面之间压力与拉力的微型力传感器（1），在微型力传感器（1）的工作面上沉淀出呈阶梯状的两层薄膜材料层（2），且其中一层薄膜材料层（2）与芯片上的pad材料相同，另一层薄膜材料与引线框架的材料相同；

步骤二，采用待检测的引线键合工艺，以金属线（3）作为引线在微型力传感器（1）的工作面上将两层薄膜材料层（2）进行键合，并记录引线键合工艺过程中产生的压力和/或拉力数据参数，压力和/或拉力数据参数包括施加在引线键合点的压应力、拉应力及其作用时间；

步骤三，分别对两层薄膜材料层（2）上的引线键合点施加持续的压力和/或拉力进行测试，压力和/或拉力变化参数数据包括施加在引线键合点的压应力、拉应力及其作用时间，还包括引线键合点在持续的压力和/或拉力下处于被破坏的临界点时的压力和/或拉力值，记录传感器检测到的引线键合点的压力和/或拉力变化参数数据，根据参数数据进行分析评价。

2.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述微型力传感器（1）是压电式、压阻式或应变式力传感器中的一种。

3.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述两层薄膜材料层（2），其材料为铝、铜、钨、钛、金的单质、合金或化合物中的一种或者多种。

4.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述两层薄膜材料层（2）是通过溅射、蒸镀、电镀中的一种或者多种工艺沉积在微型力传感器（1）的工作面上、并通过图形化工艺加工成两层呈阶梯状的膜材料层。

5.如权利要求1或4所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述两层薄膜材料层（2）之间通过黏附层贴合在一起。

6.如权利要求1所述的一种引线键合工艺可靠性检测方法，其特征在于：所述步骤三中，根据参数数据进行分析评价，分析的方法包括历史数据对比、数据挖掘和数据学习；评价方法包括预警推送、趋势分析和工艺漂移预防。