[发明专利]一种宽角太阳能光谱选择吸收薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种宽角太阳能光谱选择吸收薄膜，其特征在于：包括基底、微纳球体、金属反射层、介质干涉层、金属吸收层、介质增透层；其中：

所述微纳球体通过匀胶机旋涂在所述基底上；

所述金属反射层通过磁控溅射镀制在所述微纳球体上；

所述介质干涉层通过磁控溅射镀制在所述金属反射层上；

所述金属吸收层通过磁控溅射镀制在所述介质干涉层上；

所述介质增透层通过磁控溅射镀制在所述金属吸收层上；

所述的基底为任意材料制成；所述的微纳球体为任意材料制成；所述的金属反射层、金属吸收层为无色金属材料制成；所述介质干涉层、介质增透层为折射率为1.04～1.81低折射率材料制成；

当所述低折射率材料为SiO₂、无色金属为C_r时，所述的微纳球体半径为500nm；所述的金属反射层的厚度为100nm；所述的介质干涉层的厚度为100nm；所述的金属吸收层的厚度为5nm，所述的介质增透层的厚度为100nm；

宽角太阳能光谱选择吸收薄膜的制备方法，包括以下步骤：

S1：将光学基底进行抛光；

S2：在抛光的光学基底上利用匀胶机旋涂SiO₂微纳球体溶液；

S3：在SiO₂微纳球体上采用磁控溅射镀制干涉膜系，所述干涉膜系具体为依次镀制C_r金属反射层、SiO₂介质干涉层、C_r金属吸收层和SiO₂介质增透层；

用针管取0.3ml浓度为100mg/ml的SiO₂溶液，滴在单晶Si片上进行旋涂，加速度为80rpm/s，加速度为25s，在2000rpm时匀速转动75s；

真空气压控制在7×10^-4帕，通入氩气，流量为80sccm，工作气压维持在0.4帕，C_r金属反射层和C_r金属吸收层的溅射功率均为50W，制备厚度分别为100nm和5nm，SiO₂介质干涉层和SiO₂介质增透层的溅射功率均为300W，制备厚度皆为100nm。