[发明专利]一种可调厚度和生长方向的硼钛复合层的制备方法有效
| 申请号: | 201910137956.9 | 申请日: | 2019-02-25 |
| 公开(公告)号: | CN109913815B | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
| 发明(设计)人: | 于月光;衣晓红;沈婕;张鑫;王玉;袁建鹏 | 申请(专利权)人: | 北京矿冶科技集团有限公司;北矿新材科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/16 | 分类号: | C23C14/16;C23C14/02;C23C8/68 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王文君;陈征 |
| 地址: | 100160 北京市丰*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 可调 厚度 生长 方向 复合 制备 方法 | ||
1.一种可调厚度和生长方向的硼钛复合层的制备方法,其特征在于,预先在钛合金基体表面沉积一层纯钛层,然后再经渗硼法,生长获得硼钛复合层;
沉积所述纯钛层的方法为PVD法;
所述PVD法具体为:氩气气氛中,在所述钛合金基体的表层,以钛靶电流从3~5A逐渐减少至0.15~0.5A,碳靶电流从0A逐渐增至0.2~0.6A,氩气流量在20~40sccm的条件,沉积2~6h,获得沉积了纯钛层的钛合金基体。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述钛合金基体预先进行深度清洁,所述深度清洁包括除油、表面打磨、超声清洁、等离子体清洗。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述深度清洁具体为:
1)将金属洗净剂与水混合配制成浓度为3~10%的溶液,升温至55~60℃,将所述钛合金基体浸入金属洗净剂溶液中,浸泡除油1~2小时;
2)依次利用400#、600#、800#、1000#、1200#、1500#、2000#型号的水磨砂纸对所述钛合金基体进行打磨;
3)以丙酮为清洗剂,超声清洗所述钛合金基体30~60min,然后再采用去离子水超声清洗30~60min;
4)将所述钛合金基体置于PVD装置中,抽真空至真空度为2~20帕起辉,随后等离子体清洗3~10min。
4.根据权利要求1~3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述渗硼法具体为:将渗硼剂填埋至沉积了纯钛层的钛合金基体的表面,然后置于900~990℃的温度下,保温2~20h。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述渗硼剂为质量比(90~98):(10~2)的供硼剂和催渗剂。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述渗硼剂的粒度不大于50μm。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)将钛合金基体进行深度清洁,所述深度清洁包括除油、表面打磨、超声清洁、等离子体清洗;
2)采用PVD法在所述钛合金基体上沉积一层纯钛层;
3)然后将渗硼剂填埋至沉积了纯钛层的钛合金基体的表面,然后置于900~990℃的温度下,保温2~20h,生长获得可调厚度和生长方向硼钛复合层。
8.权利要求1~7任一项所述的制备方法制得的硼钛复合层。
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