[发明专利]一种可调厚度和生长方向的硼钛复合层的制备方法有效

专利信息
申请号: 201910137956.9 申请日: 2019-02-25
公开(公告)号: CN109913815B 公开(公告)日: 2021-03-02
发明(设计)人: 于月光;衣晓红;沈婕;张鑫;王玉;袁建鹏 申请(专利权)人: 北京矿冶科技集团有限公司;北矿新材科技有限公司
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/02;C23C8/68
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王文君;陈征
地址: 100160 北京市丰*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 可调 厚度 生长 方向 复合 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种可调厚度和生长方向的硼钛复合层的制备方法,其特征在于,预先在钛合金基体表面沉积一层纯钛层,然后再经渗硼法,生长获得硼钛复合层;

沉积所述纯钛层的方法为PVD法;

所述PVD法具体为:氩气气氛中,在所述钛合金基体的表层,以钛靶电流从3~5A逐渐减少至0.15~0.5A,碳靶电流从0A逐渐增至0.2~0.6A,氩气流量在20~40sccm的条件,沉积2~6h,获得沉积了纯钛层的钛合金基体。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述钛合金基体预先进行深度清洁,所述深度清洁包括除油、表面打磨、超声清洁、等离子体清洗。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述深度清洁具体为:

1)将金属洗净剂与水混合配制成浓度为3~10%的溶液,升温至55~60℃,将所述钛合金基体浸入金属洗净剂溶液中,浸泡除油1~2小时;

2)依次利用400#、600#、800#、1000#、1200#、1500#、2000#型号的水磨砂纸对所述钛合金基体进行打磨;

3)以丙酮为清洗剂,超声清洗所述钛合金基体30~60min,然后再采用去离子水超声清洗30~60min;

4)将所述钛合金基体置于PVD装置中,抽真空至真空度为2~20帕起辉,随后等离子体清洗3~10min。

4.根据权利要求1~3任一项所述的制备方法,其特征在于,所述渗硼法具体为:将渗硼剂填埋至沉积了纯钛层的钛合金基体的表面,然后置于900~990℃的温度下,保温2~20h。

5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述渗硼剂为质量比(90~98):(10~2)的供硼剂和催渗剂。

6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述渗硼剂的粒度不大于50μm。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)将钛合金基体进行深度清洁,所述深度清洁包括除油、表面打磨、超声清洁、等离子体清洗;

2)采用PVD法在所述钛合金基体上沉积一层纯钛层;

3)然后将渗硼剂填埋至沉积了纯钛层的钛合金基体的表面,然后置于900~990℃的温度下,保温2~20h,生长获得可调厚度和生长方向硼钛复合层。

8.权利要求1~7任一项所述的制备方法制得的硼钛复合层。

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