[发明专利]一种弧形工件激光直接曝光设备

说明书

本发明公开了一种弧形工件激光直接曝光设备，包括机架和曝光组件，机架上摆动安装有工件吸附组件，该工件吸附组件由摆动装置驱动，该工件吸附组件的吸附面为圆柱面，吸附面上设置有吸附孔且与负压装置连通；曝光组件包括固定于机架上的底座，底座上沿水平X轴方向滑动安装有X滑座，该X滑座由X动力装置驱动，X滑座上沿水平Y轴方向滑动安装有Y滑座，该Y滑座由Y动力装置驱动，Y滑座上安装有DMD曝光镜头，该DMD曝光镜头水平设置且处于圆柱面的水平半径上，DMD曝光镜头朝向吸附面，水平X轴方向与圆柱面的中心轴平行，水平Y轴与DMD曝光镜头所在水平半径平行。该曝光设备可以对工件的圆弧形的内表面进行曝光。

技术领域

本发明涉及一种激光直接曝光设备，尤其涉及一种弧形工件激光直接曝光设备。

背景技术

近来，利用激光进行的直接描画的技术(Laser Direct Imaging,LDI)，即不需要底片的无光罩曝光方式，正在广泛地被使用，以取代传统利用光罩的汞灯曝光模式。此种激光直接曝光方目前还是存在一个缺点，就是激光直接曝光设备一般都是只能对平面的工件表面曝光，而无法对弧形工件的表面曝光。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种弧形工件激光直接曝光设备，该曝光设备可以对工件的圆弧形的内表面进行曝光。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种弧形工件激光直接曝光设备，包括机架，所述机架上设置有曝光组件，所述机架上摆动安装有圆弧形的工件吸附组件，该工件吸附组件由摆动装置驱动由上料工位摆动至曝光完成工位，该工件吸附组件的吸附面为圆柱面且工件吸附组件的摆动中心与圆柱面的中心轴重合，所述吸附面上设置有吸附孔，该吸附孔与负压装置连通；所述曝光组件包括固定于机架上的底座，所述底座上沿水平X轴方向滑动安装有X滑座，该X滑座由X动力装置驱动，所述X滑座上沿水平Y轴方向滑动安装有Y滑座，该Y滑座由Y动力装置驱动，所述Y滑座上安装有DMD曝光镜头，该DMD曝光镜头水平设置且处于圆柱面的水平半径上，DMD曝光镜头朝向吸附面，所述水平X轴方向与圆柱面的中心轴平行，所述水平Y轴与DMD曝光镜头所在水平半径平行。

作为一种优选的方案，所述曝光设备还包括DMD曝光镜头校准装置，该校准装置包括固定于工件吸附组件上的校准相机，该工件吸附组件摆动到校准工位时该校准相机处于水平位置且与DMD曝光镜头对应，所述DMD曝光镜头安装于Z滑座上，该Z滑座沿竖直Z轴滑动安装于Y滑座上，所述Z滑座由Z动力装置驱动。

作为一种优选的方案，所述工件吸附组件包括柱面座体，该柱面座体的内表面为90°圆心角的吸附面，所述校准相机设置于柱面座体的一端且DMD曝光镜头适配。

作为一种优选的方案，所述机架上安装有摆动支座，所述摆动支座上安装有力矩电机，该力矩电机的动力端的旋转中心位于柱面座体的中心轴上，柱面座体通过摆臂安装于力矩电机的动力端。

作为一种优选的方案，所述摆臂包括第一摆臂单体和第二摆臂单体，第一摆臂单体的一端和第二摆臂单体的一端分别连接于力矩电机的动力端，第一摆臂单体的另一端和第二摆臂单体的另一端均通过连接轴与柱面座体的两端连接。

作为一种优选的方案，所述第一摆臂单体的一端和第二摆臂单体之间连接有连接杆。

作为一种优选的方案，所述X动力装置、Y动力装置、Z动力装置均为线性电机。

作为一种优选的方案，所述底座和X滑座之间设置有用于检测X滑座极限位置的极限位置检测传感器。