[发明专利]分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法

说明书

一种分光装置、温度特性导出装置、分光系统以及分光方法，能够高精度地对目标波长的光进行分光。分光装置具备：分光模块、检测所述分光模块的温度的温度检测部和控制所述分光模块的模块控制部，所述分光模块包括：干涉滤波器，具有一对反射膜以及通过施加电压改变所述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部；以及电容检测电路，输出与所述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号，所述模块控制部根据所述分光模块的温度特性和由所述温度检测部检测到的检测温度校正从所述电容检测电路输出的检测信号的目标值，控制施加在所述间隔变更部的所述电压以便于成为校正从所述电容检测电路输出的检测信号的所述目标值。

技术领域

本发明涉及分光装置、温度特性导出装置、分光系统、分光方法以及温度导出方法。

背景技术

以往，已知具备具有一对反射膜的干涉滤波器的分光装置(例如，参考专利文献1)。

在专利文献1记载的分光装置(可变干涉装置)中，用电容检测电路(静电电容检测电路)测量干涉滤波器(法布里帕罗干涉仪)的反射膜之间的静电电容，以反射膜之间的间隔尺寸成为希望的目标值的方式进行反馈控制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平1-94312号公报

在如上述专利文献1记载的分光装置中，存在因使用环境而改变干涉滤波器或电容检测电路的温度的情况。

干涉滤波器通常借助粘合剂等固定部件固定在容纳干涉滤波器的封装或基板的固定对象上。因此，干涉滤波器的周围的温度变动时，向干涉滤波器施加与干涉滤波器、固定部件以及固定对象的线膨胀系数的差对应的应力。由于这样的应力，存在反射膜产生挠曲或倾斜的情况，反射膜之间的间隔尺寸变动，透射干涉滤波器的光的波长也偏移。

在此，干涉滤波器的透射光的波长与反射膜之间的间隔尺寸成比例。因此，在由于温度变化而反射膜之间的间隔尺寸变动的情况下，可以将反射膜之间的间隔尺寸控制成反射膜之间的间隔尺寸的平均值成为与透射光的目标波长对应的尺寸。

但是，干涉滤波器的反射膜之间的静电电容对于反射膜之间的间隔尺寸成反比例。在该情况下，从电容检测电路输出的信号值的平均并不是反射膜之间的间隔尺寸的平均。除此之外，电容检测电路自身也存在温度特性，即便反射膜之间的间隔尺寸为相同尺寸，由于温度不同，也检测到不同的值。

因此，如专利文献1的分光测量装置，根据电容检测电路检测到的静电电容(检测电容)，在进行将干涉滤波器的反射膜之间的间隔尺寸匹配与目标波长对应的目标尺寸的反馈控制的情况下，即便控制成检测电容成为与目标尺寸对应的电容，目标波长的光不会从干涉滤波器透射。

发明内容

本发明的目的在于提供能够精度良好地对目标波长的光分光的分光装置、导出在该分光装置中使用的温度特性的温度特性导出装置、具备上述分光装置以及上述温度特性导出装置的分光系统、分光方法以及温度特性导出方法。

本发明的一应用例的分光装置，其特征在于，具备：分光模块；温度检测部，检测上述分光模块的温度；以及模块控制部，控制上述分光模块，上述分光模块包括：干涉滤波器，具有一对反射膜以及通过施加电压来改变上述一对反射膜之间的间隔尺寸的间隔变更部；以及电容检测电路，输出与上述一对反射膜之间的静电电容对应的检测信号，上述模块控制部根据上述分光模块的温度特性以及由上述温度检测部检测到的检测温度来校正从上述电容检测电路输出的检测信号的目标值，控制施加在上述间隔变更部的上述电压以使从所述电容检测电路输出的检测信号成为校正后的所述目标值。

在本应用例中，温度检测部检测包括干涉滤波器以及电容检测电路的分光模块的温度(检测温度)。而且，模块控制部向间隔变更部施加电压，当目标波长的光从干涉滤波器透射时，根据从电容检测电路输出的检测信号，反馈控制施加在间隔变更部的电压。此时，模块控制部使用基于分光模块的温度特性和检测温度校正后的目标值。