[发明专利]一种具有高度差的三维手性结构的制备方法

权利要求书

1.一种具有高度差的三维手性结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、手性结构的模板制备；

步骤二、采用第一沉积角进行倾斜镀膜；所述步骤二具体包括：将经过步骤一制备好的手性结构的模板放入电子束真空镀膜仪中，调整为第一沉积角，进行第一沉积角度的手性结构整体蒸镀金属材料；

步骤三、采用第二沉积角进行倾斜镀膜；所述步骤三具体包括：将手性结构的模板的沉积角度调整为第二沉积角，进行第二沉积角度的手性结构部分蒸镀金属材料；所述第一沉积角的角度大于所述第二沉积角的角度；

步骤四、进行处理，得到手性结构。

2.如权利要求1所述的一种具有高度差的三维手性结构的制备方法，其特征在于，所述步骤一、手性结构的模板制备的具体步骤为：

(1)准备衬底，并在衬底上涂覆一层光刻胶；

(2)设计结构图形，并用电子束曝光对应区域形成所设计的图形；

(3)将经过曝光后的衬底放入显影液中浸泡；

(4)将经过烘干后的衬底进行定影，后用氮气烘干，得到手性结构的模板。

3.根据权利要求2所述的一种具有高度差的三维手性结构的制备方法，其特征在于：所述衬底为ITO玻璃。

4.如权利要求1所述的一种具有高度差的三维手性结构的制备方法，其特征在于，所述步骤四、进行处理，得到手性结构具体步骤为：将蒸镀完金属材料的手性结构的模板放入剥离液中浸泡，进行lift-off剥离工艺，后用氮气烘干，并进行SEM观察。

5.如权利要求1所述的一种具有高度差的三维手性结构的制备方法，其特征在于：所述镀膜的材料为金，银或铜。