[发明专利]环抛中抛光液的循环供液装置及供液方法在审
| 申请号： | 201910129998.8 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN109759957A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;王乙任;谢瑞清;赵世杰;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 曹鹏飞 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光液 供液器 连通 喷嘴 可转换 循环供液装置 供液管路 环抛机 回收泵 回收桶 控制柜 截止 供液 预设 非均匀温度场 电性连接 光学元件 间距布置 循环利用 元件表面 变形的 不均匀 多工位 供液管 抛光盘 散热 单点 桥架 加工 变形 | ||
1.环抛中抛光液的循环供液装置，其搭载于环抛机上，其特征在于，包括：
供液器(1)，用于储存、供给抛光液，其设置于所述环抛机外部；
供液管路(2)，所述供液管路(2)与所述供液器(1)可转换连通或截止，且其固定于所述环抛机的多工位桥架上；
喷嘴(3)，所述喷嘴(3)包括多个，按照预设间距布置于所述供液管路(2)上，且与所述供液管路(2)可转换连通或截止；
回收桶(4)，所述回收桶(4)连接于环抛机的抛光盘底部；
回收泵(5)，所述回收泵(5)通过管路与所述回收桶(4)连通，且与所述供液器(1)可转换连通或截止；
及控制柜(6)，所述供液器(1)、所述喷嘴(3)和所述回收泵(5)均与所述控制柜(6)电性连接。
2.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，所述供液器(1)包括储液桶(11)和供液泵(12)；所述供液泵(12)固定于所述储液桶(11)上并与其内部连通；且所述供液泵(12)的出口与所述供液管路(2)可转换连通或截止，所述供液泵(12)与所述控制柜(6)电性连接。
3.根据权利要求2所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，所述储液桶(11)为恒温储液桶；其内部设置有热交换管路，外部设置有控制所述热交换管路温度的温控器(111)；所述温控器(111)与所述控制柜(6)电性连接。
4.根据权利要求3所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，所述储液桶(11)中安装有液位传感器和温度传感器，所述液位传感器和所述温度传感器均与所述控制柜(6)电性连接。
5.根据权利要求3所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，所述储液桶(11)底部安装有搅拌器，所述搅拌器与所述控制柜(6)电性连接。
6.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，每一个所述喷嘴(3)上均设置有流量调节开关，所述流量调节开关与所述控制柜(6)电性连接。
7.根据权利要求1所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，所述回收桶(4)顶部具有与其连通的环形的回收槽(7)，所述回收槽(7)固定于抛光盘周围。
8.根据权利要求7所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，还包括清扫隔板(8)，所述清扫隔板(8)连接于抛光盘侧壁与所述抛光盘一起旋转，且可清扫所述回收槽(7)内的抛光液。
9.根据权利要求8所述的环抛中抛光液的循环供液装置，其特征在于，所述回收桶(4)内设置有液位探头，所述液位探头与所述控制柜(6)电性连接。
10.环抛中抛光液的循环供液方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将权利要求1-9任一项所述的环抛中抛光液的循环供液装置安装于环抛机上；
S2、开启环抛机和控制柜；控制柜控制供液器将抛光液经供液管路供给至喷嘴中，喷嘴根据控制柜的指令将抛光液喷射至抛光盘表面；
S4、喷射后的抛光液流入抛光盘周围，经回收桶回收，回收桶中的抛光液经回收泵泵回至供液器中循环利用。
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