[发明专利]一种能反射红外光线与紫外光线的CdTe电池TCO层

权利要求书

1.一种能反射红外光线与紫外光线的CdTe电池TCO层，其特征在于：所述CdTe电池TCO层包括以下重量份数配比的原料：10份中空玻璃微珠、20-25份Al(NO₃)₃·9H₂O、10.4-17.3份TiCl₄、300份InCl₃与15-25份SnCl₄·5H₂O。

2.根据权利要求1所述的CdTe电池TCO层，其特征在于：所述中空玻璃微珠的平均粒径≤10um或者平均粒径≤1um。

3.根据权利要求1所述的CdTe电池TCO层，其特征在于：所述CdTe电池TCO层的制备方法包括以下步骤：

S1.以10份中空玻璃微珠、20-25份Al(NO₃)₃·9H₂O、10.4-17.3份TiCl₄为原料，制备得到反射组分；

S2.以300份InCl₃与15-25份SnCl₄·5H₂O为原料，制备得到Sn掺杂In₂O₃组分；

S3.先将步骤S1中的反射组分、步骤S2中的Sn掺杂In₂O₃组分与50mL无水乙醇一起置于球磨罐中球磨，再置于真空度80Pa的真空炉中，升温速度为5℃/min，升温至1100℃时保温2h，之后进行降温，降温速率为5℃/min，降温至600℃时保温1h，温度降至室温时取出，制备得到CdTe电池TCO层用的靶材组分；

S4.采用磁控溅射沉积的方法，将步骤S3中的靶材组分，在气压为6×10^-5Pa、溅射功率为100W、溅射气体为Ar气、衬底温度为260℃下，沉积在CdTe电池的n-CdS层上，制备得到CdTe电池TCO层。

4.根据权利要求3所述的CdTe电池TCO层，其特征在于：所述步骤S3中采用直径3mm的锆珠，在N₂保护下球磨。

5.根据权利要求3所述的CdTe电池TCO层，其特征在于：所述步骤S3中真空炉的预热温度为900℃。