[发明专利]一种高蚀刻速率与选择比的铝蚀刻液及其制备方法

权利要求书

1.一种高蚀刻速率与选择比的铝与氮化钛蚀刻液，其特征在于：铝与氮化钛蚀刻液由磷酸、硝酸、醋酸、盐酸和去离子水组成，蚀刻液中磷酸的质量分数在65%；硝酸的质量分数在2%；醋酸的质量分数在10%；盐酸的质量分数在4%；去离子水的质量分数为余量，配制的蚀刻液中能产生重量含量为0.2%-1.33%的氯化亚硝酰；

所述的磷酸为浓磷酸，其重量含量为85.7%；

所述的硝酸为浓硝酸，其重量含量为70.2%；

所述的醋酸为浓醋酸，其重量含量为99.5%；

所述的盐酸为浓盐酸，其重量含量为37.0%；

所述的去离子水，金属离子含量低于0.1pp。

2.一种高蚀刻速率与选择比的铝与氮化钛蚀刻液制备方法，其特征在于，制备方法包括以下步骤：

S1、将权利要求1所述比例分别称重磷酸、硝酸、醋酸、去离子水和盐酸；

S2、将磷酸、硝酸、醋酸和去离子水逐一加入，每加入一组份需搅拌均匀并保持室温；

S3、向S2配好的混合液中缓慢加入称量好的盐酸，并搅拌均匀。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：S2步骤中磷酸、硝酸、醋酸和去离子水可以以任意顺序加入，但必须是逐一加入。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：S2步骤中每加入一种组分搅拌的时间为5-10分钟，并在加入的过程中维持室温。

5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：S3步骤中在加入盐酸前，配好的混合液已经是混合均匀状态，且是未搅拌状态。

6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：S3中加入盐酸时以0.5-50mL/min的速度缓慢加入。

7.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：S3中加入盐酸时需要搅拌，搅拌速率为30-100r/min，加完盐酸即停止搅拌。