[发明专利]涂布的基材在审
| 申请号: | 201910116587.5 | 申请日: | 2019-02-15 |
| 公开(公告)号: | CN110158030A | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
| 发明(设计)人: | A.艾萨里安;P.霍瑟比安;D.S.瑞克比;M.迪克森 | 申请(专利权)人: | 劳斯莱斯有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐晶;黄念 |
| 地址: | 英国*** | 国省代码: | 英国;GB |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 交替层 硬质材料 基材 金属或金属合金 导电陶瓷材料 高速钢 基合金 | ||
1.一种涂布的基材,包括金属或金属合金诸如高速钢、TiAl基合金或Ni基合金或导电陶瓷材料,其中所述涂层包含硬质材料保护涂层,所述硬质材料保护涂层包含不同组合物的交替层,其中所述交替层的第一组合物包含硅Si,和/或所述交替层的第二组合物包含硼B。
2.根据权利要求1所述的涂布的基材,其中所述包含硅的层是包含硅的金属氮化物层,诸如TiAlSiN、CrAlSiN、AlSiN。
3.根据权利要求1所述的涂布的基材,其中所述包含硅的层包含0.5至30原子%的Si。
4.根据权利要求1所述的涂布的基材,其中所述包含硼的层是还包含一定比例的一种或多种稀土元素的包含硼的金属氮化物层,诸如TiAlCrBYN、CrAlBYN。
5.根据权利要求1所述的涂布的基材,其中所述包含硼的层包含0.1至20原子%的B。
6.根据权利要求1所述的涂布的基材,其中所述交替层的第一组合物包含铝和硅和/或所述交替层的第二组合物包含铝和硼。
7. 根据权利要求1所述的涂布的基材,其中所述交替层的双层厚度在1至20 nm的范围内,优选在2至5 nm的范围内。
8.根据权利要求1所述的涂布的基材,还包括与基材相邻的界面层,所述界面层是包含一定比例的一种或多种稀土元素任选钇的无氮金属间层。
9.根据前述权利要求中任一项所述的涂布的基材,其中所述基材是用于燃气涡轮发动机的机翼。
10.一种燃气涡轮发动机,包括根据权利要求9所述的涂布的基材。
11.一种用于在基材上制造硬质材料保护涂层的方法,所述基材包括金属或金属合金诸如高速钢、TiAl基合金或Ni基合金或导电陶瓷材料,所述方法包括:
沉积不同组合物的交替层,其中所述交替层的第一组合物包含硅Si,和/或所述交替层的第二组合物包含硼B。
12.根据权利要求11所述的方法,其中所述沉积通过高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)涂布、电弧蒸发涂布和磁控溅射中的任何一种进行。
13. 根据权利要求11所述的方法,其中所述交替层的双层厚度在1至20 nm的范围内,优选在2至5 nm的范围内。
14.根据权利要求11所述的方法,其中在沉积靶的前面的磁场的水平分量的强度优选在100至1500高斯,更优选在200至1000高斯,并且还更优选在300至500高斯的范围内且最优选为约400高斯。
15.根据权利要求11至14中任一项的方法,其中所述交替层的第一组合物包含铝和硅和/或所述交替层的第二组合物包含铝和硼。
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