[发明专利]保持面的磨削方法有效
| 申请号： | 201910103280.1 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN110125731B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 长井健;木川有希子;掛札将树 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/01 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保持 磨削 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种保持面的磨削方法，使用磨削装置并利用通过该保持面的中心的磨削磨具对该保持面进行磨削，该磨削装置具有：磨削单元，其以呈环状配设有该磨削磨具的磨削磨轮的中心为轴进行旋转；以及保持单元，其使保持工作台以对晶片进行保持的保持面的中心为轴进行旋转，其中，
该磨削磨具是使陶瓷结合剂与金刚石磨粒混合并进行烧结而固体化得到的、在磨削面上具有气孔的陶瓷磨具，该磨削磨具形成为环状且在该磨削面上不具有间隙，
使该保持工作台进行旋转而使该磨削面与该保持面的半径区域接触，在使该磨削磨具从该半径区域的外周朝向中心移动时，使该金刚石磨粒进入该气孔，从通过了该保持面的中心的该磨削面的该气孔挤出该金刚石磨粒而对该保持面的中央部分进行磨削，从而形成平坦的凹部而对该保持面进行磨削。
2.根据权利要求1所述的保持面的磨削方法，其中，
该金刚石磨粒使用了粒度600。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910103280.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
