[发明专利]光探测面板及其制作方法、显示装置有效
申请号: | 201910098983.X | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN109801935B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 卜倩倩;胡伟频;王丹;邱云;孙晓;魏从从 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 黄灿;张博 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 探测 面板 及其 制作方法 显示装置 | ||
本发明提供了一种光探测面板及其制作方法、显示装置,属于显示技术领域。光探测面板包括:相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板;位于第二衬底基板朝向第一衬底基板一侧表面上的感光元件、读取薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管,读取薄膜晶体管用于接收感光元件在接收到光信号后生成的电信号;位于第二衬底基板朝向第一衬底基板一侧的第二电极和第一电极,第二电极与驱动薄膜晶体管连接;位于感光元件远离第二衬底基板一侧的微透镜,微透镜为利用液滴形成,被配置为受第一电极和第二电极之间的电场控制,微透镜将外界光线汇聚至感光元件。通过本发明的技术方案,能够优化光探测面板的探测效果。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是指一种光探测面板及其制作方法、显示装置。
背景技术
现有技术在制作光探测面板时,在感光元件上方进行微透镜器件的制作来优化光探测面板的探测效果,但是由于感光元件的尺寸比较小,工艺精度的限制使得微透镜的位置容易出现偏差,从而影响光探测面板的探测效果。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种光探测面板及其制作方法、显示装置,能够优化光探测面板的探测效果。
为解决上述技术问题,本发明的实施例提供技术方案如下:
一方面,提供一种光探测面板,包括:
相对设置的第一衬底基板和第二衬底基板;
位于所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板一侧表面上的感光元件、读取薄膜晶体管和驱动薄膜晶体管,所述读取薄膜晶体管用于接收所述感光元件在接收到光信号后生成的电信号;
位于所述第二衬底基板朝向所述第一衬底基板一侧的第二电极和第一电极,所述第二电极与所述驱动薄膜晶体管连接;
位于所述感光元件远离所述第二衬底基板一侧的微透镜,所述微透镜为利用液滴形成,被配置为受所述第一电极和所述第二电极之间的电场控制,所述微透镜将外界光线汇聚至所述感光元件。
进一步地,还包括:
位于所述第一电极朝向所述第二电极一侧的第一疏水层;
位于所述第二电极朝向所述第一电极一侧的第二疏水层,所述液滴位于所述第一疏水层和所述第二疏水层之间。
进一步地,所述光探测面板为X射线探测面板,所述光探测面板还包括:
位于所述微透镜远离所述感光元件一侧的闪烁体层。
进一步地,所述感光元件为光电二极管。
进一步地,所述光探测面板为红外线探测面板,所述光探测面板还包括:
位于所述读取薄膜晶体管与所述感光元件之间的相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极,所述第一叉指电极与所述读取薄膜晶体管连接。
进一步地,所述感光元件包括:
位于所述第一叉指电极和所述第二叉指电极远离所述第二衬底基板的一侧的红外敏感层。
进一步地,还包括:
位于所述第一叉指电极和所述第二叉指电极与所述红外敏感层之间的有机绝缘层。
进一步地,所述光探测面板还包括:
第一钝化层;
位于所述第一钝化层上、同层且相对设置的第一叉指电极和第二叉指电极,所述第一叉指电极与所述读取薄膜晶体管连接;
覆盖所述第一叉指电极和所述第二叉指电极的有机绝缘层;
位于所述有机绝缘层上的红外敏感层,所述读取薄膜晶体管用于接收所述红外敏感层在接收到光信号后生成的电信号;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的