[发明专利]一种高硬度Si3N4陶瓷天线罩高效精密加工制备方法

权利要求书

1.一种高硬度Si₃N₄陶瓷天线罩高效精密加工制备方法，其特征是：包括以下步骤：

(1)坯体制备：Si₃N₄粉体进行造粒，再将造粒成型，接着压制成为毛坯体；

(2)将毛坯体进行预烧；

(3)对烧结后的坯体进行精密加工；

(4)将加工后的工件进行终烧，使工件完全烧结，即可。

2.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(1)中的Si₃N₄粉体进行造粒的粒度为30～50μm。

3.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(1)中使用闭式离心喷雾干燥机造粒。

4.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(1)中Si₃N₄粉体粒度为求1～5μm以下，纯度为99.99％。

5.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(1)中在冷等静压条件下压制成为毛坯体。

6.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(2)和/或(4)中，使用气氛压力烧结炉进行预烧和/或终烧。

7.如权利要求6所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述气氛压力烧结炉升温速度为100℃/min，在预烧温度下保持2～5h后降温。

8.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(2)中预烧的烧结温度为1000～1300℃。

9.如权利要求1所述的Si₃N₄天线罩体加工制备方法，其特征是：所述步骤(4)中终烧的温度为1600～1800℃。

10.权利要求1-9任一所述的加工制备方法得到的Si₃N₄天线罩。