[发明专利]一种用于探针台的测试头在审
| 申请号: | 201910096178.3 | 申请日: | 2019-01-31 |
| 公开(公告)号: | CN111505348A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
| 发明(设计)人: | 成家柏;郑勇军;陈巍;林薇;郭丹;郑锴 | 申请(专利权)人: | 杭州广立微电子有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04 |
| 代理公司: | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人: | 吴双 |
| 地址: | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 探针 测试 | ||
1.一种用于探针台的测试头,与载台和探针卡配合使用,其特征在于,所述用于探针台的测试头包括盖板、固定框架、接口板、针塔和盒体;
接口板上设有接头和向下的连接点,连接点与接头电连接,接口板与固定框架安装固定;盖板安装在固定框架上,盖板开有通孔B,使外部电缆能穿过盖板的通孔B与接口板上的接头连接;针塔安装在固定框架下,针塔设置有针孔,针孔内安装有弹簧针,弹簧针的上端与接口板的连接点接触连接,弹簧针的下端用于和探针卡的探针接触连接;
盒体为上端开口的结构,盒体安装在承载有探针卡的载台上,盒体底部设有用于探针卡向上露出的通孔A;
盒体的一侧和盖板的一侧连接形成转动轴,盖板另一端相对转动轴翻转实现盖板和盒体之间的闭盖状态和开盖状态;在闭盖状态下,针塔的弹簧针下端能穿过盒体底部的通孔A与探针卡上的探针形成接触连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,所述用于探针台的测试头还包括气弹簧,气弹簧的一端连接在盒体上,气弹簧的另一端连接在盖板上,用于盖板翻转时提供支撑和缓冲。
3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,盒体内设有锁紧组件,盖板与固定框架之间柔性连接,能进行相对移动;锁紧组件包括用于连接固定框架的连接部和用于驱动固定框架及其上的接口板和针塔竖直升降一定距离的传动机构;当翻转盖板至闭盖状态时,针塔上的弹簧针靠近探针卡且弹簧针下端与探针卡上的探针相互平行且不接触,同时固定框架与锁紧组件的连接部形成连接,锁紧组件的传动机构动作使针塔上弹簧针的下端与探针卡上的探针接触连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,固定框架的一对侧边上设有定位销;
所述传动机构包括转轴、连杆、转动手柄、轴承、直线导轨和定位滑块;直线导轨设有两个,分别对称安装在盒体上通孔A的两侧,每个直线导轨上各滑动连接有一个定位滑块,即定位滑块A和定位滑块B;所述定位滑块的一侧开有滑槽,滑槽包括滑槽上段和滑槽下段,滑槽上段的上端开口至定位滑块的上端面,滑槽上段的下端和滑槽下段的上端连接且连接处设有定位点G,滑槽下段的下端设有定位点D,且定位点D低于定位点G;两个定位滑块分别安装在对应的直线导轨上后,使两个定位滑块开有滑槽的侧面相对设置;所述滑槽即锁紧组件中的连接部,固定框架上的定位销能进入对应滑槽内实现连接,当定位销处于定位点D时,盖板和盒体处于闭盖状态,针塔上的弹簧针下端与探针卡上的探针相互平行且不接触,当定位销处于定位点G时,针塔上弹簧针的下端与探针卡上的探针接触连接;所述轴承设为两个,即轴承A和轴承B,两个轴承分别套设安装在对应的转轴上,轴承A与轴承B之间、定位滑块A与轴承A之间、定位滑块B与轴承B之间均通过连杆连接,所述转动手柄设置在轴承上。
5.根据权利要求4所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,所述固定框架的一对侧边上对称安装有四个定位销,即一条侧边上安装有两个定位销,所述定位滑块的一侧对应开有两道相同的滑槽。
6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,所述用于探针台的测试头还包括电缆箱体,电缆箱体为底部开口的箱型结构;电缆箱体安装在固定框架上;盖板利用通孔B套设在电缆箱体上;电缆箱体上开有电缆孔,使电缆能穿过电缆孔进入电缆箱体内,实现和接口板上接头的连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,所述盖板的一侧与盒体连接,另一侧安装有翻转手柄,用于通过操作翻转手柄实现盖板和盒体之间的闭盖状态和开盖状态。
8.根据权利要求1所述的一种用于探针台的测试头,其特征在于,所述固定框架为框架结构,且框架中还设置有加强筋,接口板上对应开有通槽,针塔上对应开有安装槽,固定框架上的加强筋能穿过接口板的通槽后嵌入针塔上的安装槽内,实现固定框架、接口板和针塔之间的刚性连接。
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