[发明专利]一种石墨坩埚的防护方法在审
| 申请号： | 201910088610.4 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109665869A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李晓丽;王东娟;戴培赟;殷铭良;陈纪亭;陈海龙 | 申请（专利权）人： | 潍坊工商职业学院 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 262234 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 石墨坩埚 石墨纸 碳化硅保护层 金属硅粉 裁切 内壁 防护 反应烧结 矩形长条 抗冲击性 抗热振性 使用寿命 原料成本 制作工艺 坩埚内壁 裁剪 放入 卷成 平铺 筒状 圆片 紧贴 相等 量化 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨坩埚的防护方法，其特征在于：包括以下方法步骤，
a，首先按照石墨坩埚的尺寸对石墨纸进行裁切，将厚度为0.8mm石墨纸裁剪成与坩埚内径尺寸相等的圆片平铺在坩埚底部，将厚度为0.3mm的石墨纸裁切成矩形长条并卷成筒状置于坩埚内部，紧贴坩埚内壁；
b，将处理好的石墨坩埚放入金属硅粉，在1500℃下进行反应烧结，坩埚底部和内壁处的石墨纸与金属硅粉反应形成碳化硅保护层，从而阻止Si与石墨坩埚本身的反应。
2.根据权利要求1所述的一种石墨坩埚的防护方法，其特征在于，步骤a中，其中置于坩埚底部的石墨纸圆片为2～3层，紧贴于坩埚内壁的石墨纸卷筒厚度也为2～3层。
3.根据权利要求1所述的一种石墨坩埚的防护方法，其特征在于，步骤a中，坩埚内壁与坩埚底部的连接处为弧形结构，则采用石墨粉末和2130#酚醛树脂的混合物进行填充和粘接。
4.根据权利要求1所述的一种石墨坩埚的防护方法，其特征在于，步骤b中，所述金属硅粉均匀平铺于石墨纸顶部，厚度设为5mm。
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