[发明专利]对位标记、进行对位的方法以及显示装置在审
申请号: | 201910087428.7 | 申请日: | 2019-01-29 |
公开(公告)号: | CN109581710A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 何玉婷;吴俊;王建俊;曹薇;张吉亮;王宇鹏 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G03F1/42;G03F9/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 对位图形 对位 对位标记 光学衍射 显示装置 基板 节省空间 衍射光斑 可观测 | ||
本发明公开了对位标记、进行对位的方法以及显示装置。该对位标记包括:第一对位图形和第二对位图形,所述第一对位图形以及所述第二对位图形分别位于需要进行对位的两个基板上,且所述第一对位图形以及所述第二对位图形可共同构成光学衍射图形。由此,当两个基板实现对位后,可观测到光学衍射图形的衍射光斑,进而可以快速、准确的判断对位是否完成。并且,该对位标记还具有图形简单、可节省空间、通过简单的工艺即可获得等优点。
技术领域
本发明涉及显示领域,具体地,涉及对位标记、进行对位的方法以及显示装置。
背景技术
在溅射沉积、蒸镀以及构图工艺(干法或是湿法刻蚀)等需要掩膜版的工序中,都需要将掩膜版与基板进行精确对位,以便基于掩膜版在特定的位置,通过沉积或刻蚀形成精细图形。在上述工序进行之前,都需包括精准对位的步骤,以保证下一步工艺的准确性。此外,在诸如LCD等显示器的制备过程中,两张玻璃基板(彩膜基板和阵列基板)也存在准确对位(对盒)的过程。目前对位的方法,主要是通过在需要进行对位的基板上设计标记图形,通过机器识别标记图形实现对位过程。
然而,目前的对位标记以及对位方法具有对位时间较长、机械对位精度有限、容易发生机器报警等问题,此外,目前对位标记图形也相对复杂,标记图形体积偏大。因此,目前的对位标记、进行对位的方法以及显示装置仍有待改进。
发明内容
本发明旨在至少一定程度上缓解甚至解决上述问题的至少之一。
本发明的一个目的在于提出一种基于光学衍射图形的对位标记和对位方法,在需要对位的两个基板上分别形成光学衍射图形的一部分,当两张基板精准对位后,可形成一个完整的光学衍射图案,因此在光线照射下,可识别出一个极亮的光斑(衍射光斑),进而完成对位。
在本发明的一方面,本发明提出了一种对位标记。该对位标记包括:第一对位图形和第二对位图形,所述第一对位图形以及所述第二对位图形分别位于需要进行对位的两个基板上,且所述第一对位图形以及所述第二对位图形可共同构成光学衍射图形。由此,当两个基板实现对位后,可观测到光学衍射图形的衍射光斑,进而可以快速、准确的判断对位是否完成。并且,该对位标记还具有图形简单、可节省空间、通过简单的工艺即可获得等优点。
根据本发明的实施例,所述光学衍射图形包括多条衍射条纹,所述第一对位图形包括多条所述衍射条纹的一部分图案,所述第二对位图形包括多条所述衍射条纹的另一部分图案;或者,所述第一对位图形包括多条所述衍射条纹中的一部分条纹,所述第二对位图形包括多条所述衍射条纹中的另一部分条纹,且所述两个基板的至少之一中,具有所述对位标记的区域为透明的。由此,当两块基板实现精确对位之后,第一对位图形和第二对位图形可共同构成光学衍射图案,从而在光源照射下,可产生易于识别的衍射光斑。
根据本发明的实施例,所述光学衍射图形为菲涅尔纹,所述第一对位图形和所述第二对位图形是由不透明的图案构成的。
根据本发明的实施例,所述对位标记进一步包括:粗调标记,需要进行对位的两个所述基板上均具有所述粗调标记,所述粗调标记靠近所述第一对位图形以及所述第二对位图形设置。由此,可利用粗调标记首先进行粗略的位置调整,从而可以进一步简化利用该对位标记进行对位时的操作。
根据本发明的实施例,包括多组对位标记,每组所述对位标记包括所述第一对位图形和所述第二对位图形,所述对位标记位于所述基板的顶角或边缘处。由此,可进一步提高对位精度。
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