[发明专利]一种预吹洗式晶圆探针台

说明书

本发明涉及晶圆探针台，公开了一种预吹洗式晶圆探针台，其技术方案要点是包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，机箱背离检测台的一侧连通有密封的吹洗仓，吹洗仓的底部设有滑移轨道，滑移轨道的一端转动连接有从动带轮，一端转动连接有主动带轮，主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，主动带轮连接有驱动电机，滑移轨道上滑移连接有支撑板，支撑板连接于传送皮带，支撑板上设有推进气缸，吹洗仓远离机箱的腔室内设有喷淋环组，在地面上设有用于存储晶圆清洗气体的高压存储罐，高压存储罐与喷淋环组之间连通有输送管道，输送管道上连接有启闭阀。本发明具有在进行检测前，对晶圆进行吹洗，以此提高晶圆检测数据的准确性的优点。

技术领域

本发明涉及晶圆探针台，特别涉及一种预吹洗式晶圆探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。

目前，公告号为CN208239572U的中国专利公开了一种带有同轴光源的探针台，包括探针台主体、开设在探针台主体上的放置槽和设置在放置槽槽口处的探针卡放置台，所述探针卡放置台上设有探针卡放置口，所述探针卡放置口处设有用于对探针卡进行限位的限位板，还包括光载板和带有照明灯的灯具，所述光载板可拆卸的连接于探针卡放置台，所述光载板上设有通光孔，所述灯具设置在光载板上，所述灯具的一端穿过通光孔，所述灯具的光源穿过探针板上的孔照射进放置槽内。

这种带有同轴光源的探针台在实际使用过程中，工作人员需要将待检测的晶圆运输至探针台主体内，现有技术中，晶圆的运输方式通常是工作人员利用晶圆盒装载晶圆进行运输，而现有技术中的晶圆盒在放置晶圆时，晶圆处于裸露的状态，因此在运输晶圆的过程中，晶圆会与周围的空气接触，从而使得晶圆上沾染空气中的污染物，而晶圆对污染物非常敏感，污染物过多会导致晶圆内的电路功能产生损坏，形成短路或断路等现象，增大了晶圆检测时数据的不准确性。

发明内容

本发明的目的是提供一种预吹洗式晶圆探针台，具有在进行检测前，对晶圆进行吹洗，以此提高晶圆检测数据的准确性的优点。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种预吹洗式晶圆探针台，包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，所述机箱背离检测台的一侧连通有密封的吹洗仓，所述吹洗仓的底部设有滑移轨道，所述滑移轨道朝向机箱的一端转动连接有从动带轮，所述滑移轨道远离机箱的一端转动连接有主动带轮，所述主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，所述主动带轮连接有驱动电机，所述滑移轨道上滑移连接有支撑板，所述支撑板下方经过螺栓连接于传送皮带，所述支撑板上设有推进气缸，所述推进气缸的伸缩杆朝向机箱，所述吹洗仓远离机箱的一端开有放料口，所述放料口上铰接有封闭门，所述吹洗仓远离机箱的腔室内设有喷淋环组，所述喷淋环组固定连接在吹洗仓内侧壁的顶部，在地面上设有用于存储晶圆清洗气体的高压存储罐，所述高压存储罐与喷淋环组之间连通有输送管道，所述输送管道上连接有启闭阀。

通过采用上述技术方案，在进行晶圆的检测时，工作人员打开封闭门，启动驱动电机，驱动电机带动传送皮带，传送皮带将支撑板移动至放料口处，接着工作人员取出晶圆盒，将晶圆盒通过放料口放在支撑板上，放置稳定后，再次启动工作驱动电机，使得驱动电机反转，从而使得支撑板带动晶圆盒朝向机箱移动。在移动的过程中，晶圆盒首先经过喷淋换组处，喷淋环组抽取高压存储罐的晶圆清洗气体，并朝向晶圆盒内的晶圆喷射，从而实现对晶圆的清理。支撑板继续带动晶圆盒移动，当抵达至机箱处时，推进气缸推动晶圆盒，使得晶圆盒进入机箱内，晶圆在机箱内等待检测。本发明中，在晶圆进行检测之前会经过吹洗仓进行清洗，从而使得晶圆在运输过程中所沾染的污染物被清除，降低了检测过程中污染物对晶圆的性能影响，提高了检测数据的准确性。