[发明专利]一种指纹传感器的硬质膜层修复装置

权利要求书

1.一种指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，包括依次设置的激光发射器(1)、衰减器(2)、偏振器(3)和蚀刻器(4)，所述蚀刻器(4)包括用于对硬质膜层(11)进行蚀刻的场镜(5)。

2.根据权利要求1所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述蚀刻器(4)还包括扫描振镜(6)，所述场镜(5)与扫描振镜(6)相连。

3.根据权利要求2所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述偏振器(3)与衰减器(2)之间设置有至少一个第一反射镜(7)，所述蚀刻器(4)和偏振器(3)之间设置有至少一个第二反射镜(8)。

4.根据权利要求3所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述蚀刻器(4)和偏振器(3)之间还设置有波束扩张器(9)。

5.根据权利要求4所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述第二反射镜(8)设置在波束扩张器(9)和偏振器(3)之间，所述蚀刻器(4)和波束扩张器(9)之间设置有至少一个第三反射镜(10)。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述激光发射器(1)为UV激光发生器。

7.根据权利要求1或2或3或4或5所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述偏振器(3)为极化透镜。

8.根据权利要求1或2或3或4或5所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述硬质膜层(11)为环氧树脂涂层。

9.根据权利要求8所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述指纹传感器由下往上依次包括PCB基板(12)、模板(13)和硬质膜层(11)。

10.根据权利要求8所述的指纹传感器的硬质膜层修复装置，其特征在于，所述指纹传感器由下往上依次包括PCB基板(12)、模板(13)、陶瓷涂层(14)和硬质膜层(11)。