[发明专利]适用于带电粒子束的轨迹矫正器在审
| 申请号： | 201910082844.8 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109637692A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 盖炜;高强 | 申请（专利权）人： | 深圳铭杰医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/093 | 分类号： | G21K1/093 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春水;唐京桥 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁铁 矫正 距离调整装置 带电粒子束 矫正器 控制装置 偏移 磁铁连接 方向调整 方向平行 距离调整 预设距离 电连接 预设 | ||
1.一种适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，包括：
第一矫正磁铁(1)，所述第一矫正磁铁(1)用于使带电粒子束(6)的前进方向发生预设角度的偏移；
第二矫正磁铁(2)，所述第二矫正磁铁(2)用于将带电粒子束(6)的前进方向调整至与发生偏移前的前进方向平行；
距离调整装置，所述第二矫正磁铁(2)通过所述距离调整装置与所述第一矫正磁铁(1)连接；所述距离调整装置用于将第一矫正磁铁(1)和第二矫正磁铁(2)之间的距离调整至预设距离；
控制装置(4)，所述控制装置(4)分别与所述第一矫正磁铁(1)、第二矫正磁铁(2)和距离调整装置电连接，所述控制装置(4)用于：
根据所述带电粒子束(6)的目标纠偏距离确定所述预设角度的大小并控制所述第一矫正磁铁(1)以使所述带电粒子束(6)的前进方向发生所述预设角度的偏移；以及
根据所述带电粒子束(6)的目标纠偏距离确定所述预设距离的大小并控制所述距离调整装置以将所述第一矫正磁铁(1)和第二矫正磁铁(2)之间的距离调整至所述预设距离。
2.根据权利要求1所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述第一矫正磁铁(1)包括：
第一线圈组，所述第一线圈组与所述控制装置(4)电连接，所述控制装置(4)用于：通过控制所述第一线圈组的第一电流的方向及大小以调整所述预设角度。
3.根据权利要求2所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述第一电流、预设距离和目标纠偏距离之间存在第一映射关系，所述控制装置(4)用于根据所述第一映射关系确定所述预设距离。
4.根据权利要求2所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述距离调整装置包括：
螺杆(3)，所述螺杆(3)的一端与所述第一矫正磁铁(1)转动连接，所述螺杆(3)的中部贯穿所述第二矫正磁铁(2)并与所述第二矫正磁铁(2)螺纹连接；
伺服电机，所述螺杆(3)的另一端与所述伺服电机的驱动端连接。
5.根据权利要求4所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述第一电流、螺杆(3)的螺距和伺服电机的转动参数之间存在第二映射关系，所述控制装置(4)用于根据所述第二映射关系确定所述伺服电机的转动参数。
6.根据权利要求5所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述伺服电机的转动参数包括转数和转向。
7.根据权利要求2所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述第二矫正磁铁(2)包括：
第二线圈组，所述第二线圈组与所述控制装置(4)电连接，所述控制装置(4)用于：通过控制所述第二线圈组的第二电流的方向及大小以将所述带电粒子束(6)的前进方向调整至与发生偏移前的前进方向平行。
8.根据权利要求7所述的适用于带电粒子束的轨迹矫正器，其特征在于，所述第一电流和第二电流的方向相反。
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