[发明专利]一种针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床

权利要求书

1.一种针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，所述针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床包括机床底座总成、X轴直线运动平台(19)、Y轴直线运动平台(5)、X轴向风琴防护罩(7)、两个机床侧座(8)、水平连接板(9)、对刀仪位移模块(10)、机床龙门座(11)、工件夹具体(12)、对刀仪(13)、Z轴直线运动平台(15)、悬挂CCD支座(16)、悬挂CCD三维精密微调装置(17)、悬挂CCD相机(18)、水平工作台(20)、水平CCD相机底座(21)、B轴旋转工作台(22)、水平CCD三维精密微调装置(23)、水平CCD相机(24)、微铣刀(26)、电主轴(27)、电主轴固定装置(28)、Z轴直线运动平台(31)和C轴旋转工作台(32)；其特征在于：Y轴直线运动平台(5)沿机床的宽度方向设置在机床底座总成的大理石平台(4)上，X轴直线运动平台(19)安装在Y轴直线运动平台(5)上，X轴直线运动平台(19)与Y轴直线运动平台(5)垂直设置，水平工作台(20)通过水平连接板(9)与X轴直线运动平台(19)的滑块固接，水平工作台(20)的上端面上安装有B轴旋转工作台(22)和水平CCD相机底座(21)，工件夹具体(12)设置在水平工作台(20)的上端面上，水平CCD相机(24)通过水平CCD三维精密微调装置(23)安装在水平CCD相机底座(21)上，两个机床侧座(8)相对安装在机床底座总成的大理石平台(4)的两侧，机床龙门座(11)安装在两个机床侧座(8)上，Z轴直线运动平台(31)竖直安装在机床龙门座(11)的横梁中部，C轴旋转工作台(32)与Z轴直线运动平台(31)的滑块固接，电主轴固定装置(28)固定在C轴旋转工作台(32)上，电主轴(27)安装在电主轴固定装置(28)上，微铣刀(26)安装在电主轴(27)的下端面上，悬挂CCD支座(16)固装在机床龙门座(11)横梁上，悬挂CCD相机(18)通过悬挂CCD三维精密微调装置(17)安装在悬挂CCD支座(16)上。

2.根据权利要求1所述的针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，其特征在于：机床底座总成包括大理石平台(4)、四个大理石基座(1)、四个气浮隔震垫(2)和四个第一隔振垫连接板(3)，四个大理石基座(1)矩阵设置在地面基础上，每个大理石基座(1)的上端面上设置有一个第一隔振垫连接板(3)，大理石平台(4)通过四个气浮隔震垫(2)安装在相应的第一隔振垫连接板(3)上端面上。

3.根据权利要求1或2所述的针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，其特征在于：Y轴直线运动平台(5)的行程为100mm，定位精度为±0.5μm，直线度为1.5μm。

4.根据权利要求3所述的针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，其特征在于：X轴直线运动平台(19)的行程为100mm，定位精度为±0.5μm，直线度为1.5μm。

5.根据权利要求1、2或4所述的针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，其特征在于：Z轴直线运动平台(15)的行程为100mm，定位精度为±0.5μm。

6.根据权利要求2所述的针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，其特征在于：所述针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床还包括四个第二隔振垫连接板(6)，每个气浮隔震垫(2)的上端面设置有一个第二隔振垫连接板(6)，大理石平台(4)通过四个第二隔振垫连接板(6)安装在相应的四个气浮隔震垫(2)上。

7.根据权利要求1、2、4或6所述的针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床，其特征在于：所述针对慢波结构件的超精密微铣削专用机床还包括两个X轴风琴防护罩(7)，水平连接板(9)沿X轴的两侧对应安装有X轴风琴防护罩(7)，每个X轴风琴防护罩(7)的一侧与水平连接板(9)固接，每个X轴风琴防护罩(7)的另一侧与机床侧座(8)固接。