[发明专利]太赫兹波分光测量装置

权利要求书

1.一种太赫兹波分光测量装置，其中，

包括：

光源，出射太赫兹波和具有与所述太赫兹波不同的波长的探测光；

内部全反射棱镜，具有所述太赫兹波的入射面、载置被测定物的载置面、以及所述太赫兹波的出射面，使从所述入射面入射的太赫兹波在所述载置面被内部全反射并从所述出射面出射；以及

太赫兹波检测部，使用所述探测光间接地检测从所述出射面出射的所述太赫兹波，

所述内部全反射棱镜具有避免所述探测光入射到所述载置面上的所述被测定物的回避部，

所述回避部具有光分支部，所述光分支部将所述太赫兹波导光到所述载置面并且不将所述探测光导光到所述载置面。

2.根据权利要求1所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

所述光分支部由光学元件构成，该光学元件使从所述入射面入射到所述内部全反射棱镜内的所述太赫兹波朝向所述载置面反射，另一方面，使从所述入射面入射到所述内部全反射棱镜内的所述探测光朝向所述出射面透过。

3.根据权利要求1所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

所述光分支部由光学元件构成，该光学元件使从所述入射面入射到所述内部全反射棱镜内的所述太赫兹波经由所述载置面导光到所述出射面，另一方面，使所述探测光在所述入射面反射并不入射到所述内部全反射棱镜内地导光到所述出射面。

4.根据权利要求1所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

所述光分支部由设置在所述内部全反射棱镜内的空隙部构成，

所述空隙部的间隔小于与所述内部全反射棱镜的界面上的所述太赫兹波的渐逝分量的透入深度，并且大于所述界面上的所述探测光的渐逝分量的透入深度。

5.一种太赫兹波分光测量装置，其中，

包括：

光源，出射太赫兹波和具有与所述太赫兹波不同的波长的探测光；

内部全反射棱镜，具有所述太赫兹波的入射面、载置被测定物的载置面、以及所述太赫兹波的出射面，使从所述入射面入射的太赫兹波在所述载置面被内部全反射并从所述出射面出射；以及

太赫兹波检测部，使用所述探测光间接地检测从所述出射面出射的所述太赫兹波，

所述内部全反射棱镜具有避免所述探测光入射到所述载置面上的所述被测定物的回避部，

所述回避部具有光分支部，所述光分支部将入射到所述内部全反射棱镜内的所述太赫兹波和所述探测光在所述载置面上进行分支。

6.根据权利要求5所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

所述光分支部由光学元件构成，该光学元件设置于所述载置面，使所述太赫兹波透过，另一方面，使所述探测光反射。

7.根据权利要求5所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

所述光分支部由聚光透镜和金属膜构成，

所述聚光透镜使所述太赫兹波和所述探测光在所述载置面聚光，

所述金属膜设置于所述载置面，并且具有小于所述载置面上的所述太赫兹波的聚光直径且大于所述载置面上的所述探测光的聚焦直径的面积。

8.根据权利要求5所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

所述光分支部由间隔物构成，该间隔物配置于所述载置面，并且在所述载置面和所述被测定物之间形成小于所述载置面上的所述太赫兹波的渐逝分量的透入深度并且大于所述载置面上的所述探测光的渐逝分量的透入深度的间隔。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

入射到所述入射面的所述太赫兹波和所述探测光的光轴是同轴，

从所述出射面出射的所述太赫兹波和所述探测光的光轴是同轴。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的太赫兹波分光测量装置，其中，

还包括使所述探测光的强度衰减的衰减器。