[发明专利]一种测量物体内部缺陷尺寸的方法有效
申请号: | 201910080527.2 | 申请日: | 2019-01-28 |
公开(公告)号: | CN109636800B | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 杨晓;刘桂玲;刘学建;杨金晶;姚秀敏;黄政仁;陈忠明;陈健 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06T7/60 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;邹蕴 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测量 物体 内部 缺陷 尺寸 方法 | ||
1.一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,包括:
采用面板探测器通过工业CT无损检测方法对样品进行检测后,由计算机重建并得到所述样品的内部缺陷的影像;
确定所述内部缺陷所在位置后通过计算机软件的图像测量工具,在所述内部缺陷需要测量尺寸的方向上,以使线段的一端位于所述样品的外部、另一端位于所述内部缺陷内的形式画直线,其中所述线段上,位于所述内部缺陷内的一端为缺陷端,另一端为样品端;
调取所述线段的延伸方向上的灰度值曲线,将所述缺陷端对应的波峰或波谷的灰度值选作G2,此时所述样品端对应的灰度值为G0;
沿所述线段的延伸方向将所述样品端从所述样品的外部移动至内部,并且使所述样品端对应的灰度值位于临近所述波峰或所述波谷而波幅平稳的区域内,此时所述样品端对应的灰度值为G1;
当G2为峰值时,计算得到G3=G2-|G2-G1|×10%,当G2为谷值时,计算得到G3=G2+|G2-G1|×10%;
在所述灰度值曲线的所述波峰或所述波谷附近,选取灰度值为G3的两点,此时两点之间显示的尺寸为所述内部缺陷的实际尺寸。
2.根据权利要求1记载的一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,其特征在于,移动所述样品端选取G1时应尽量靠近G2。
3.根据权利要求1记载的一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,其特征在于,当|G1-G2|>(G1-G0)×10%时,则认为该内部缺陷可以分辨,反之不可分辨,据此判断检测图像上是否存在内部缺陷。
4.根据权利要求1记载的一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,其特征在于,所述内部缺陷的体积小于1×1×1mm3。
5.根据权利要求1记载的一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,其特征在于,通过小角度数字线性扫描检测方法对被检样品进行检测。
6.根据权利要求1记载的一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,其特征在于,G0在所述灰度值曲线上为低值,也为空气的背底值。
7.根据权利要求1记载的一种测量物体内部缺陷尺寸的方法,其特征在于,当测量内部缺陷的平面尺寸时,所述面板探测器可替换为线阵列探测器。
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