[发明专利]单管剥膜机及单管加工系统

权利要求书

1.一种单管剥膜机，其特征在于，包括晶圆环、定位机构和顶针机构；

蓝膜放置于所述晶圆环上，所述晶圆环位于所述定位机构上，所述定位机构能够带动所述晶圆环在水平面内移动；

所述顶针机构位于所述定位机构下方；所述顶针机构包括顶针和驱动装置，所述驱动装置能够驱动所述顶针升降，使所述顶针穿过定位机构将所述蓝膜上的单管顶起或放下。

2.根据权利要求1所述的单管剥膜机，其特征在于，所述定位机构包括晶圆环放置板、第一定位板和第二定位板；

所述晶圆环放置板上设置有定位槽，所述晶圆环放置于所述定位槽内；

所述第一定位板位于所述晶圆环放置板下方，所述第一定位板和所述晶圆环放置板之间沿第一方向设置有第一直线滑轨，所述第一定位板和所述晶圆环放置板沿所述第一直线滑轨发生相对滑动；

所述第二定位板位于所述第一定位板下方，所述第二定位板和所述第一定位板之间沿第二方向设置有第二直线滑轨，所述第二定位板和所述第一定位板沿所述第二直线滑轨发生相对滑动；

所述第一方向和所述第二方向在水平面内相垂直。

3.根据权利要求2所述的单管剥膜机，其特征在于，所述晶圆环放置板、所述第一定位板和所述第二定位板上沿竖直方向均设置有定位通孔，所述顶针能够穿过所述定位通孔与所述晶圆环上的所述蓝膜相接触。

4.根据权利要求2所述的单管剥膜机，其特征在于，所述定位机构还包括调整组件；

所述调整组件包括旋钮安装板、第一旋钮、第一定位齿条、第二旋钮和第二定位齿条；

所述第一旋钮和所述第二旋钮位于所述旋钮安装板上，所述第一旋钮下端设置有第一定位齿轮，所述第一旋钮转动能够带动所述第一定位齿轮转动；所述第二旋钮下端设置有第二定位齿条，所述第二旋钮转动能够带动所述第二定位齿轮转动；

所述第一定位齿条沿所述第一方向设置于所述晶圆环放置板的一侧，所述第二定位齿条沿所述第二方向设置于所述第二定位板的一侧；所述第一定位齿条与所述第一定位齿轮相啮合，所述第二定位齿条与所述第二定位齿轮相啮合。

5.根据权利要求1所述的单管剥膜机，其特征在于，还包括图像放大机构，所述图像放大机构位于所述定位机构下方；

所述图像放大机构包括平面镜和CCD放大镜，所述平面镜与竖直方向呈一定夹角，所述蓝膜上单管与所述顶针的相对位置图像经所述平面镜反射后能够传入所述CCD放大镜中；

所述CCD放大镜与显示屏相连接，用于将经所述CCD放大镜放大后的图像呈现于所述显示屏上。

6.根据权利要求2所述的单管剥膜机，其特征在于，所述晶圆环放置板上设置有转动压块，所述转动压块能够在所述晶圆环放置板的上端面上转动，并压住所述晶圆环放置板上的所述晶圆环。

7.根据权利要求2所述的单管剥膜机，其特征在于，所述晶圆环放置板上设置有蓝膜压块，所述蓝膜压块设置于所述晶圆环放置板的边沿处，用于对所述蓝膜限位。

8.根据权利要求5所述的单管剥膜机，其特征在于，还包括壳体，所述定位机构、所述顶针机构和所述图像放大机构均位于所述壳体内，所述晶圆环位于所述壳体的上端面。

9.根据权利要求8所述的单管剥膜机，其特征在于，所述壳体上设置有开关，所述开关用于控制所述驱动装置的启停。

10.一种单管加工系统，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的单管剥膜机。