[发明专利]一种EMS电子制造用监控系统

权利要求书

1.一种EMS电子制造用监控系统，包括神经网络系统与在线监控溶液监控系统，其特征在于：所述在线监控溶液监控系统包括自动取样设备、自动分析系统、数据模型和仿真系统与闭环控制系统，所述神经网络系统包括输入转换器、神经网络与输出转换器。

2.根据权利要求1所述的一种EMS电子制造用监控系统，其特征在于：所述输入转换器是将实际问题的逻辑信息转换为数字信息，使之能够被神经网络处理，输出转换器是将神经网络输出的数字信息转换为外界能够识别和使用的逻辑信息。

3.根据权利要求1所述的一种EMS电子制造用监控系统，其特征在于：所述自动取样设备包括取样泵体与溶液存储槽体，所述自动取样设备按照用户设定的时间或者事件要求，自动采集吸取到电镀溶液内的样品，并存储到设备设定的槽体内。

4.根据权利要求1所述的一种EMS电子制造用监控系统，其特征在于：所述自动分析系统采用了CVS伏安电极分析法，所述自动分析系统包括工作电极、辅助电极、参比电极以及电化学分析系统，用于实现采集数据的采集和分析，所述自动分析系统通过三电极系统完成，所述工作电极为圆盘旋转电极。

5.根据权利要求1所述的一种EMS电子制造用监控系统，其特征在于：所述数据模型和仿真系统包括数据存储模块和建立模型模块，所述数据模型和仿真系统用于实际仿真。

6.根据权利要求1所述的一种EMS电子制造用监控系统，其特征在于：所述闭环控制系统包括自动加药系统和浓度控制系统，所述闭环控制系统可以形成闭环控制，用于采集数据结果实现对电镀溶液添加系统的完整控制。