[发明专利]一种双加热电极宽量程风速传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种双加热电极宽量程风速传感器，包括八边形衬底(1)、四个温度探测器电极(3)、加热器电极(4)和四个热隔离槽(5)，其特征在于，所述加热器电极(4)位于八边形衬底(1)的中心，加热器电极(4)由双加热器围成中心为方形盘绕式结构和四个引用电极组成，所述四个引用电极分别从所述方形盘绕式结构的四个角引出，延伸至八边形衬底(1)的边缘，且每个引用电极的宽度逐渐变宽，四个引出电极呈十字交叉；

每个温度探测器电极(3)为对称结构，包括扇形本体及该本体边缘引出并延伸至八边形衬底(1)边缘的两个探测电极，四个温度探测器电极(3)分布在加热器电极(4)周围的八边形衬底(1)上，加热器电极(4)的每相邻两个引出电极之间设置一个温度探测器电极(3)；

在每个温度探测器电极(3)与加热器电极(4)之间的八边形衬底(1)上设置一个热隔离槽(5)。

2.根据权利要求1所述的一种双加热电极宽量程风速传感器，其特征在于，所述传感器还包括八边形导热介质层(2)；

八边形导热介质层(2)镀在八边形衬底(1)上，四个温度探测器电极(3)、加热器电极(4)和四个热隔离槽(5)设置在八边形导热介质层(2)上。

3.根据权利要求2所述的一种双加热电极宽量程风速传感器，其特征在于，所述八边形衬底(1)为纯度99％的三氧化二铝陶瓷衬底；

八边形导热介质层(2)为氮化铝导热介质薄膜；

四个温度探测器电极(3)和加热器电极(4)均为铂膜。

4.根据权利要求3所述的一种双加热电极宽量程风速传感器，其特征在于，所述加热器电极(4)的四个引出电极的末端和温度探测器电极(3)的八个探测电极的末端均设置有引出焊盘；所述八边形衬底(1)的边缘设置了12个通孔焊盘(6)，通孔焊盘的位置与加热器电极(4)和温度探测器电极(3)的引出焊盘的位置对应，位置对应的通孔焊盘与引出焊盘连接。

5.根据权利要求4所述的一种双加热电极宽量程风速传感器，其特征在于，引线穿过引出焊盘和通孔焊盘，从八边形衬底(1)的背面引出，且引出焊盘和通孔焊盘内设置铂浆焊接覆盖。

6.根据权利要求5所述的一种双加热电极宽量程风速传感器，其特征在于，八边形衬底(1)厚度为0.1-0.15mm，八边形导热介质层(2)膜厚0.1-10μm，温度探测器电极(3)和加热器电极(4)薄膜厚度均为50-500nm，加热器电极(4)的薄膜线宽a为40-100μm，温度探测器电极(3)的薄膜线宽b为10-50μm，热隔离槽(5)的槽深为0.1-0.15mm，槽宽为20-50μm，通孔焊盘(6)的通孔直径50-100μm。

7.根据权利要求1至6任一所述一种双加热电极宽量程风速传感器，其特征在于，所述八边形衬底(1)包括四个等长的长边和四个等长的短边，四个长边和四个短边交替连接，四个温度探测器电极(3)的引出焊盘分布在四个短边边缘，加热器电极(4)的四个引出焊盘分布在相对的四个长边边缘。