[发明专利]一种铝合金表面的PVD真空镀膜工艺在审
申请号: | 201910077064.4 | 申请日: | 2019-01-27 |
公开(公告)号: | CN109518142A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 赵文强;尹忠乐 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海区晶鼎泰机械设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;C23C14/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 528000 广东省佛山市南海区狮山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 时间控制 颜色层 真空镀膜工艺 铝合金表面 多层 膜层 测试效果 传统工艺 电流控制 工艺处理 偏压控制 性能要求 保护层 打底层 大能量 氮化物 防腐蚀 高频率 过渡层 弧电源 铝合金 耐腐蚀 耐摩擦 咬合层 氧化物 单层 镀层 溅射 良率 水镀 轰击 生产成本 电源 | ||
本发明公开了一种铝合金表面的PVD真空镀膜工艺,打底层:弧电源轰击,偏压控制在200~300V,时间控制在3~5分钟;中间多层:用氧化物和氮化物多层过渡,层数控制8~10层;单层时间控制在10~20分钟;靶电流控制在10~20A;过渡咬合层:过渡层和颜色层混合溅射时间15~25分钟;颜色层:颜色层时间控制在20~30分钟;保护层:选用高频率大能量电源,时间控制在40~50分钟,得到PVD膜层。铝合金经过此工艺处理后,可以在免做水镀处理、膜层厚度大大降低的情况下,仍能满足膜层的防腐蚀等性能要求。与传统工艺相比,在取消水镀层的前提,只用PVD镀层,同样达到了耐腐蚀、耐摩擦等各种测试效果;同时,降低了生产成本,减少了良率损失。
技术领域
本发明涉及铝合金的PVD真空镀膜领域,具体为一种铝合金表面的PVD真空镀膜工艺。
背景技术
目前铝合金应用非常广泛,不但可以在传统的五金挂件,汽车Logo,卫浴洁具等方面占有一席之地,特别是近几年在电子产品手机外壳等方面,通过采用阳极氧化的处理方法达到色彩鲜艳,华丽的效果。
问题在于,阳极氧化、水电镀等处理手段,其弊端是对环境的污染非常严重。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种铝合金表面的PVD真空镀膜工艺,以解决上述背景技术提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种铝合金表面的PVD真空镀膜工艺,包括如下步骤:
步骤一:打底层:弧电源轰击,偏压控制在200~300V,时间控制在3~5分钟;
步骤二:中间多层:用氧化物和氮化物多层过渡,层数控制8~10层;单层时间控制在10~20分钟;靶电流控制在10~20A;
步骤三:过渡咬合层:过渡层和颜色层混合溅射时间15~25分钟;
步骤四:颜色层:颜色层时间控制在20~30分钟;
步骤五:保护层:选用高频率大能量电源,时间控制在40~50分钟,得到PVD膜层。
作为本发明的一种优选技术方案,所述中间多层的氧化物为SiO2;所述氮化物为TiN。
作为本发明的一种优选技术方案,所述保护层的高频率大能量电源为70~90KHz,20~30KW。
作为本发明的一种优选技术方案,所述PVD膜层厚度为1.5~2.5um。
本发明的有益效果是:该工艺包括如下步骤:打底层、中间多层、过渡咬合层、颜色层和保护层,铝合金经过此工艺处理后,可以在免做水镀处理、膜层厚度大大降低的情况下,仍能满足膜层的防腐蚀等性能要求。与传统工艺相比,具有以下优点:在取消水镀层的前提,只用PVD镀层,同样达到了耐腐蚀、耐摩擦等各种测试效果;同时,降低了生产成本,减少了良率损失。
具体实施方式:
下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易被本领域人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
实施例1
打底层:弧电源轰击,偏压控制在200V,时间控制在3分钟;
中间多层:用氧化物(如SiO2)和氮化物(如TiN)多层过渡,层数控制8层;单层时间控制在10分钟;靶电流控制在10A;
过渡咬合层:过渡层和颜色层混合溅射时间15分钟;
颜色层:颜色层时间控制在20分钟;
保护层:选用高频率大能量电源(70KHz,20KW),时间控制在40分钟
实施例2
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