[发明专利]热处理装置及热处理方法

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于通过对衬底进行光照射来将该衬底加热，且具备：

腔室，收容衬底；

灯，对收容在所述腔室中的所述衬底进行光照射；

氧浓度计，吸引所述腔室内的气氛而测定所述腔室内的氧浓度；

取样管线，将所述腔室与所述氧浓度计连通连接，将所述腔室内的气氛引导至所述氧浓度计；

惰性气体供给管线，对所述氧浓度计供给惰性气体；以及

排气管线，将所述腔室内的气氛排气；

所述取样管线不经过所述排气管线而将所述腔室内的气氛引入所述氧浓度计，

所述氧浓度计将从所述腔室吸引且用于测定氧浓度的气体排出至所述排气管线，

当将所述取样管线关闭而中断所述腔室内的氧浓度的测定时，从所述惰性气体供给管线对所述氧浓度计供给惰性气体，且

从所述惰性气体供给管线供给的惰性气体的氧浓度低于所述腔室内的氧浓度。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

在所述惰性气体供给管线设置流量调整机构，所述流量调整机构使从所述惰性气体供给管线供给至所述氧浓度计的惰性气体的流量与从所述腔室引导至所述氧浓度计的气体的流量相等。

3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，

所述取样管线由不锈钢形成。

4.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其特征在于，

在将所述腔室内减压至小于大气压时，或者在对所述腔室内供给反应性气体时，将所述取样管线关闭而中断所述腔室内的氧浓度的测定。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，

在对所述腔室内供给反应性气体时，在停止供给所述反应性气体之后特定的设定时间的期间持续所述取样管线的关闭。

6.一种热处理方法，其特征在于通过对衬底进行光照射来将该衬底加热，且具备：

照射步骤，从灯对收容在腔室内的衬底进行光照射；

排气步骤，将所述腔室内的气氛排气至排气管线；

测定步骤，将所述腔室内的气氛经由取样管线引导至氧浓度计而测定所述腔室内的氧浓度，并将用于测定氧浓度的气体排出至所述排气管线，所述取样管线不经过所述排气管线而将所述腔室内的气氛引入所述氧浓度计；以及

惰性气体供给步骤，在中断所述测定步骤时，对所述氧浓度计供给惰性气体，

在所述惰性气体供给步骤中供给至所述氧浓度计的惰性气体的氧浓度低于所述腔室内的氧浓度。

7.根据权利要求6所述的热处理方法，其特征在于，

使在所述惰性气体供给步骤中供给至所述氧浓度计的惰性气体的流量与在所述测定步骤中从所述腔室引导至所述氧浓度计的气体的流量相等。

8.根据权利要求6或7所述的热处理方法，其特征在于，

所述取样管线由不锈钢形成。

9.根据权利要求6或7所述的热处理方法，其特征在于，

在将所述腔室内减压至小于大气压时，或者在对所述腔室内供给反应性气体时，中断所述测定步骤。

10.根据权利要求9所述的热处理方法，其特征在于，

在对所述腔室内供给反应性气体时，在停止供给所述反应性气体之后特定的设定时间的期间持续所述测定步骤的中断。