[发明专利]一种多光谱紫外成像光学性能检测系统和检测方法

说明书

本发明公开了一种多光谱紫外成像光学性能检测系统和检测方法。目前尚未有成熟的关于双光路、多光谱光学系统光学性能检测的设备和方法。本发明的一种多光谱紫外成像光学性能检测系统，包括一个多谱段光源、一个平行光管和一个多维度转台，所述的多谱段光源包含紫外、可见和红外波段的光；所述的平行光管内部采用折返式光学系统，用于实现折返式光路，所述的折返式光学系统包括位于平行光管内部两侧的多面曲率不同反光镜，多谱段光源发出的光线进入平行光管内，经折返式光路后平行射出；所述的多维度转台置于平行光管前端，实现多维度转动。本发明可在同一系统中实现多光谱光学系统的光学性能检测，为多光谱光学系统性能检测提供方案。

技术领域

本发明属于光学性能检测领域，具体地说是一种多光谱紫外成像光学性能检测系统和检测方法。

背景技术

目前光学成像性能检测系统多用于可见光和红外光波段的光学系统检测，随着紫外光学系统的应用普及，市场上涌现出了很多紫外成像设备，但尚未有成熟紫外系统光学性能检测的装置和系统，难以对紫外设备进行性能评估。

另一方面，随着光电检测技术的发展，双光路、多光谱检测手段越来越多的得到应用，但对于双光路、多光谱检测系统而言，如何在同一系统中实现多光谱光学性能的检测，尚未有成熟、稳定的光学系统和检测方法。

平行光管是一种常见的光学性能检测装置，是装校调整光学仪器的重要工具，也是光学量度仪器中的重要组成部分，配用不同的分划板，连同测微目镜头，或显微镜系统，则可以测定透镜组的焦距、分辨率及其他成像质量。

目前常见的平行光管多集中于可见光波段的光学性能检测，很少有涉及紫外光学性能的检测，原因是，由于紫外光的特殊性，无法穿透大部分的透明玻璃及塑料，所以可用于紫外平行光管加工的材料有限，导致其本身像差难以校正。

除此之外，目前平行光管应用多限于单光路系统的光学检测，对于双光路、多光谱系统，没有一套成熟、系统的检测方案和对应的装置。

中国专利201820214237.3公开了一种《一种双光路检测装置及系统》，其介绍了一种双光路检测系统，该系统利用两个积分球实现双光路系统的检测，但因两条光路的存在，自身加工和装配容易存在误差，且整个系统置于实验平台上使用，容易受周围气流、灰尘、平台水平度等因素影响；此外，该系统使用两个LED，光源的强弱和稳定性不便控制，整个系统设计复杂，稳定性差，不便操作和推广；另一方面，由于两个积分球之间的间距有限，对应射出的两个平行光距离也受到限制。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种多光谱紫外成像光学性能检测系统，其可在同一系统中实现多光路的光学系统的性能检测，为双通道、多光谱光学系统性能检测提供方案。

为此，本发明采用如下的技术方案：一种多光谱紫外成像光学性能检测系统，包括一个多谱段光源、一个平行光管和一个多维度转台，所述的多谱段光源包含紫外、可见和红外波段的光，所述的平行光管内部使用折返式光学系统，用于实现折返式光路，所述的折返式光学系统包括位于平行光管内部两侧的多面曲率不同反光镜，多谱段光源发出的光线进入平行光管内，经折返式光路后平行射出，所述的多维度转台置于平行光管前端，实现多维度转动。

本发明的平行光管内部使用折返式光学系统，体积小、像差小，无需调节焦面位置，系统稳定。多面反光镜，用于光路反射和像差校正，可用于多种光学系统性能的检测，不限于分辨率和重合度检测。本发明可在同一系统中实现多光路的光学系统的性能检测，为双通道、多光谱光学系统性能检测提供方案。

进一步地，所述多谱段光源，其波段在250-1100nm，与太阳光谱接近，可进行多谱段光学系统性能检测。

进一步地，所述的多谱段光源为氙灯，该光源与太阳光谱接近。