[发明专利]一种用于原子层沉积的夹具及生产沉积薄膜的方法

权利要求书

1.一种用于原子层沉积的夹具，其特征在于，包括底板(8)、盖板(1)、第一滤网(6)、第二滤网(7)和至少一个通道手柄(2)，其中：

所述盖板(1)可拆卸地设置在所述底板(8)上，所述盖板(1)和所述底板(8)上均设置有通孔，两个所述通孔相对设置；

所述第一滤网(6)设置在所述盖板(1)的通孔内，所述第二滤网(7)设置在所述底板(8)的通孔内，所述第一滤网(6)和第二滤网(7)相间隔；

所述底板(8)上设置有气体出口，所述气体出口设置在所述第二滤网(7)的下方，所述通道手柄(2)固定在所述底板(8)上，所述通道手柄(2)内设置有气体通道(3)，所述气体通道(3)的一端连通有至少一个接口环(4)，所述气体通道(3)的另一端和所述气体出口相连通。

2.根据权利要求1所述的用于原子层沉积的夹具，其特征在于，还包括芯环(5)，所述芯环(5)设置在所述底板(8)和所述盖板(1)之间。

3.根据权利要求2所述的用于原子层沉积的夹具，其特征在于，所述底板(8)和所述盖板(1)均包括外环和内环，所述外环设置在所述内环外侧，所述内环中部为所述通孔，所述内环厚度小于所述外环的厚度，所述芯环(5)设置在所述底板(8)的内环和所述盖板(1)的内环之间，所述芯环(5)同时与两个所述外环可拆卸连接，所述第二滤网(7)设置在所述底板(8)的内环与所述芯环(5)之间，所述第一滤网(6)设置在所述盖板(1)的内环与所述芯环(5)之间。

4.根据权利要求1所述的用于原子层沉积的夹具，其特征在于，所述第一滤网(6)和所述第二滤网(7)的孔眼数目为200目～3000目。

5.一种生产沉积薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将粉末样品装入权利要求1-4任一项所述夹具中的第一滤网和第二滤网之间；

将所述夹具的通道手柄与原子层沉积设备的出源孔相连通；

向夹具喷射前驱体源并通入载气，反应得到沉积薄膜。

6.根据权利要求5所述的生产沉积薄膜的方法，其特征在于，所述向夹具喷射前驱体源具体包括：

控制与各个通道手柄相连通的出源孔间歇性喷射；

控制与一个通道手柄上的各个接口环相连通的出源孔间歇性喷射。

7.根据权利要求5所述的生产沉积薄膜的方法，其特征在于，所述通入载气具体包括：

在第一滤网上方进行抽气，使第一滤网上方气压下降；

在第二滤网下方进行充气，气体带动前驱体源向上运动进入第一滤网和第二滤网之间。