[发明专利]一种动态可调衰减器

权利要求书

1.一种动态可调衰减器，其特征在于，包括：由上而下依次设置的线偏振元件、光通道生成单元和石墨烯导模共振结构；其中，光束垂直入射至所述线偏振元件后，所述光通道生成单元垂直出射第一光束；所述第一光束经所述石墨烯导模共振结构垂直出射；所述第一光束经所述石墨烯导模共振结构反射生成第二光束，所述第二光束经所述光通道生产单元水平出射；

所述光通道生成单元包括一偏振分束器和一法拉第旋转器；所述光束出射所述线偏振元件后，入射至所述偏振分束器后，垂直出射所述第一光束，所述第一光束经所述法拉第旋转器偏振方向发生45°变化后垂直出射；所述第二光束发射到所述法拉第旋转器偏振方向发生90°变化后，垂直出射至所述偏振分束器并水平出射；

所述石墨烯导模共振结构包括导模共振光栅和石墨烯；所述石墨烯设置在所述导模共振光栅中；

所述导模共振光栅结构从上到下依次设置光栅层、波导层、石墨烯层和基底；所述光栅层朝向所述法拉第旋转器设置；所述石墨烯层位于所述波导层和基底之间；利用电压对石墨烯层进行控制，改变石墨烯层对光的吸收；

所述线偏振元件为一线偏振片；

所述波导层为Ta₂O₅层；所述基底为SiO₂层；

所述光栅层包括多块间隔分布的有机玻璃；

所述光栅层的厚度为600nm～700nm；

所述波导层的厚度为80nm～120nm；

所述石墨烯层的化学势能为0.5ev～1.5ev。