[发明专利]一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置在审
| 申请号： | 201910062206.X | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109609916A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 杨佳葳;龚涛;蔡国;龚平;谢俊 | 申请（专利权）人： | 湖南宇诚精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413001 湖南省益阳*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 修正装置 卤素灯 位于炉体 电子枪 离子源 蒸发源 电子束蒸发镀膜机 炉体内壁 镀膜 中心对称位置 高度一致 分度圆 两组 对称 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：包括固定修正装置Ⅰ、固定修正装置Ⅱ、活动修正装置、1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源和1个电子枪；
所述1个蒸发源、4个卤素灯、1个离子源在同一个分度圆上，所述4个卤素灯分为两组，沿中心位置两侧对称；所述蒸发源位于炉体中心对称位置；所述离子源位于炉体左侧；所述电子枪位于炉体右侧；
所述固定修正装置Ⅰ位于左侧两个卤素灯中间位置，安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅱ位于右侧卤素灯与电子枪中间位置，并安装在炉体内壁上，能沿安装位置水平方向旋转调节；所述固定修正装置Ⅰ与固定修正装置Ⅱ安装高度一致；所述活动修正装置位于炉体右侧，位于电子枪上方，能沿安装位置水平方向旋转调节。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述蒸发源靠近炉体出风口。
3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述离子源靠近炉门。
4.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述电子枪靠近炉门。
5.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀膜机镀膜修正装置，其特征在于：所述固定修正装置Ⅰ上修正板靠近镀膜机抽气口。
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