[发明专利]一种分光装置有效
申请号: | 201910059059.0 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN111458893B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 徐建旭;兰艳平 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02B27/14 | 分类号: | G02B27/14 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分光 装置 | ||
本发明公开一种分光装置。该分光装置包括第一分光单元和第二分光单元,第一分光单元和第二分光单元分别包括相互垂直的第一反射面和第二反射面;入射光线入射到第一反射面形成第一反射光线,第一反射光线入射到第二反射面形成第二反射光线;入射光线与第一反射光线所在平面为第一入射面,偏振方向平行和垂直于第一入射面的入射光线在第一反射面的反射率分别为第一反射率和第二反射率;第一反射光线与第二反射光线所在平面为第二入射面,偏振方向平行和垂直于第二入射面的第一反射光线在第二反射面的反射率分别为第三反射率和第四反射率;第一反射率等于第三反射率,第二反射率等于第四反射率。本发明的技术方案,实现分光后不改变光束的偏振特性。
技术领域
本发明实施例涉及光学技术,尤其涉及一种分光装置。
背景技术
在光学系统中,特别是测试系统中存在多种参数同时测试的需求,就需要多路分光到各测试模块,图1是现有技术中的分光场景示意图,参考图1,光从光源出射后,沿着光束传输的方向,使用分光元件分光,光束进入各测量模块,实现多模块同时测量。
现有技术中,窗口片、分光镜、分光棱镜等都是常用的分光装置,在分光的过程中,因材料和镀膜的固有属性,会造成不同偏振态的光的反射率不同,这样就会引入一个问题,分光会对偏振光特性的测试造成影响,导致分光后的偏振度与分光前偏振度不同,影响测量结果。
发明内容
本发明提供一种分光装置,以实现分光后不改变光束的偏振特性。
本发明实施例提供一种分光装置,包括:
第一分光单元,所述第一分光单元包括第一反射面;
第二分光单元,所述第二分光单元包括第二反射面;
所述第一反射面和所述第二反射面垂直;
一束入射光线入射到所述第一反射面发生反射,形成第一反射光线,所述第一反射光线入射到所述第二反射面,形成第二反射光线;
所述入射光线与所述第一反射光线所在的平面为第一入射面,偏振方向平行于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第一反射率,偏振方向垂直于所述第一入射面的入射光线在所述第一反射面的反射率为第二反射率;
所述第一反射光线与所述第二反射光线所在的平面为第二入射面,偏振方向平行于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第三反射率,偏振方向垂直于所述第二入射面的第一反射光线在所述第二反射面的反射率为第四反射率;
所述第一反射率和所述第三反射率相同,所述第二反射率和所述第四反射率相同。
可选的,所述第一反射面的表面和所述第二反射面的表面设置有光学膜层,所述光学膜层具有预设的透反比。
可选的,所述第一分光单元和所述第二分光单元均为平板分光镜。
可选的,所述第一分光单元和所述第二分光单元的形状和材料均相同。
可选的,所述第一分光单元包括第一楔形分光镜,所述第二分光单元包括第二楔形分光镜。
可选的,还包括第三分光单元,所述第三分光单元包括第三楔形分光镜,所述第三楔形分光镜包括第一入射面和第二入射面;
所述第三楔形分光镜的第一入光面与所述第一楔形分光镜的出光面平行,所述第三楔形分光镜的第二入光面与所述第一反射面平行。
可选的,所述第一楔形分光镜与所述第三楔形分光镜的形状和材料相同。
可选的,所述第一楔形分光镜与所述第三楔形分光镜之间的距离可调。
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