[发明专利]一种具有减小杂散功能的SAW谐振器有效
申请号: | 201910058139.4 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN109787579B | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 董元旦;杨涛;朱谊龙 | 申请(专利权)人: | 成都频岢微电子有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/145;H03H9/17 |
代理公司: | 成都拓荒者知识产权代理有限公司 51254 | 代理人: | 李静 |
地址: | 611730 四川省成都市郫都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 减小 功能 saw 谐振器 | ||
1.一种具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:包括压电基片、设置在压电基片上的叉指换能器和短路反射栅;所述短路反射栅对称设置在叉指换能器两端,短路反射栅的栅极间距固定,且栅极宽度从短路反射栅内侧到短路反射栅外侧呈线性渐变,
所述反射栅的栅极宽度k1*λ~k2*λ之间,第n条栅极宽度由式1获得,
Wn=k1*λ+(k2-k1)*λ(n-1)/(N-1),式1;
其中k1*λ为反射栅最内侧贴近叉指换能器的栅极宽度,k2*λ为反射栅最外端的栅极宽度;
其中,λ为声波波长。
2.根据权利要求1所述的具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述栅极宽度在0.25λ~0.4λ间变化,栅极间距为0.5λ。
3.一种具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:包括压电基片、设置在压电基片上的叉指换能器和短路反射栅;所述短路反射栅对称设置在叉指换能器两端,短路反射栅的栅极间距和栅极宽度均固定,且在短路反射栅的边角处设置有覆盖区,覆盖区向短路反射栅内延伸,且覆盖区的边线与短路反射栅的栅极连接,短路反射栅与覆盖区连接的栅极长度呈线性递减。
4.根据权利要求3所述的具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述覆盖区为金属三角,设置在反射栅边框的四角。
5.根据权利要求3或4具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述叉指换能器又包括汇流条、设置在汇流条上的叉指电极和Busbar,叉指电极和Busbar相互间隔交替设置。
6.根据权利要求5所述的具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述叉指电极与相邻的Busbar位于同一中心线上,且间距为0.2λ,其中λ为声波波长。
7.根据权利要求6所述的具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述Busbar指条长度统一为1.5λ到3λ之间,指条宽度0.39λ。
8.根据权利要求6或7任一一项所述的具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述压电基片选用LiTaO3或者LiNbO3,叉指换能器和短路反射栅均采用铝材料。
9.根据权利要求8所述的具有减小杂散功能的SAW谐振器,其特征在于:所述短路反射栅与叉指换能器之间留有边缘间距,且边缘间距与电极宽度之和等于λ/2。
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