[发明专利]一种超硬材料的微透镜阵列制造方法

权利要求书

1.一种超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤110：根据微透镜的曲率半径选取相应半径的球体，所述球体为金属材料；

步骤120：根据待加工的微透镜阵列中各个微透镜的间隔尺寸制作筛网，使所述筛网上通孔中心的间隔尺寸与微透镜的间隔尺寸保持一致，各个所述通孔的直径均大于所述球体的直径，使所述球体与所述通孔之间存在间隙，所述球体的球心与所述筛网的中心面等高时所述球体能够在所述通孔内转动，根据微透镜的精度要求选取所述球体与所述通孔的间隙配合公差；

步骤130：调整被加工工件和所述筛网的相对位置，使所述球体放置在被加工工件表面的同时，所述球体半径高度的位置被所述筛网约束住，将被加工工件和制作好的所述筛网固定；

步骤140：将能够连续送进的柔性带状材料与所述球体上部接触，通过连续送进柔性带状材料使所述球体转动，同时向被加工工件表面喷洒金刚石颗粒悬浮液，逐渐将被加工工件抬升距离h，h为微透镜的加工深度；

步骤150：将加工完成的工件置于丙酮中清洗后干燥；

所述柔性带状材料为传送带，所述传送带至少由两个带轮张紧，所述带轮由电机直接或间接驱动。

2.根据权利要求1所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，所述球体为钢球。

3.根据权利要求1所述的超硬材料的微透镜阵列制造方法，其特征在于，被加工工件固定于升降台上。