[发明专利]一种强效去污多晶硅片用清洗液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201910054813.1 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN109777653A 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 李广森 申请(专利权)人: 安徽华顺半导体发展有限公司
主分类号: C11D1/83 分类号: C11D1/83;C11D3/04;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/37;C11D3/20;C11D3/60
代理公司: 合肥汇融专利代理有限公司 34141 代理人: 张雁
地址: 239300 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 清洗液 多晶硅片 去污能力 去污 制备 脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠 二辛基琥珀酸磺酸钠 聚氧乙烯烷基醇酰胺 丁二酸酯磺酸钠 硬脂酸甘油酯 多晶硅生产 氢氧化钠 清洗效果 去离子水 有效结合 交联剂 精细化 消泡剂 异辛基 增稠剂 增溶剂 粘附的 重量份 螯合剂 硅片 油污 去除 碎屑 切割 清洗 杂物 残留 分解
【说明书】:

发明提供一种强效去污多晶硅片用清洗液及其制备方法,涉及多晶硅生产技术领域。所述清洗液由以下重量份的原料制成:二辛基琥珀酸磺酸钠4‑6份、二异辛基丁二酸酯磺酸钠2‑4份、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠6‑8份、硬脂酸甘油酯8‑10份、聚氧乙烯烷基醇酰胺1‑3份、氢氧化钠1‑2份、螯合剂0.6‑0.8份、交联剂0.3‑0.5份、增稠剂1‑2份、增溶剂0.8‑1.0份、消泡剂1.2‑1.4份、去离子水200‑240份。本发明克服了现有技术的不足,能够有效分解硅片上的油污并且去除粘附的杂物和切割残留的碎屑,从而有效提高清洗液的去污能力,各组分有效结合,清洗更加精细化,清洗效果好,清洗液去污能力强,适宜推广。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域,具体涉及一种强效去污多晶硅片用清洗液及其制备方法。

背景技术

随着人们环保意识的加强,太阳能作为绿色资源已被广泛应用。其中多晶硅材料为太阳能光伏的主要材料,约占世界光伏电池的85%以上。多晶硅作为光伏产业的前端产品,在整个产业链中占据重要地位。目前多晶硅片在其加工过程中,需要使用金钢线和切割液相互配合对制得的多晶硅锭进行切片。切片完成后还需通过清洗液对制得的多晶硅片进行清洗,除去多晶硅片上的杂质。

但是目前的切割液其油脂含量较高,由于其本身具有一定的粘附性,会粘上较多其他的杂物共同附着在多晶硅片上,加上切片时残留的碎屑,清洗较为麻烦。目前的清洗液清洗效果较差,去污能力差,难以除去多晶硅片上的污物,给工作人员带来了较大的麻烦。

发明内容

针对现有技术不足,本发明提供一种强效去污多晶硅片用清洗液及其制备方法,本发明克服了现有技术的不足,能够有效分解硅片上的油污并且去除粘附的杂物和切割残留的碎屑,从而有效提高清洗液的去污能力,各组分有效结合,清洗更加精细化,清洗效果好,清洗液去污能力强,适宜推广。

为实现以上目的,本发明的技术方案通过以下技术方案予以实现:

一种强效去污多晶硅片用清洗液,所述清洗液由以下重量份的原料制成:二辛基琥珀酸磺酸钠4-6份、二异辛基丁二酸酯磺酸钠2-4份、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠6-8份、硬脂酸甘油酯8-10份、聚氧乙烯烷基醇酰胺1-3份、氢氧化钠1-2份、螯合剂0.6-0.8份、交联剂0.3-0.5份、增稠剂1-2份、增溶剂0.8-1.0份、消泡剂1.2-1.4份、去离子水200-240份。

优选的,所述清洗液由以下重量份的原料制成:二辛基琥珀酸磺酸钠5份、二异辛基丁二酸酯磺酸钠3份、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠7份、硬脂酸甘油酯9份、聚氧乙烯烷基醇酰胺2份、氢氧化钠1.5份、螯合剂0.7份、交联剂0.4份、增稠剂1.5份、增溶剂0.9份、消泡剂1.3份、去离子水220份。

优选的,所述螯合剂为乙二胺四乙酸二钠。

优选的,所述交联剂为N-羟甲基丙烯酰胺、甲叉双丙烯酰胺和1,4-丁二醇二缩水甘油醚中的一种或多种。

优选的,所述增稠剂为氯化钠、聚丙烯酸钠和羧甲基纤维素中的一种或多种。

优选的,所述增溶剂为十二烷基硫酸钠、月桂醇硫酸钠和山梨醇中的一种或多种。

优选的,所述消泡剂甲基硅油、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚和聚氧丙烯甘油醚中的一种或多种。

所述清洗液的制备方法包括以下步骤:

(1)将二辛基琥珀酸磺酸钠、二异辛基丁二酸酯磺酸钠和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠混合后加入高速分散机内,再加入螯合剂,升温至50-60℃,调整转速至600-800r/min,高速分散20-30min得物料A备用;

(2)将硬脂酸甘油酯、聚氧乙烯烷基醇酰胺和交联剂混合后加入搅拌机内,调整转速至100-140r/min,搅拌10-20min后将其混合物置于保温箱中,升温至60-80℃,保温改性30-50min得物料B备用;

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