[发明专利]一种硅片腐蚀工艺固定载具及固定方法

权利要求书

1.一种硅片腐蚀工艺固定载具，其中，包括：

载具主体；

第一固定单元，所述第一固定单元具有凹口；

至少二调整固定件，所述调整固定件处于相对方向，所述调整固定件的相对端面朝向所述载具主体的中心，所述调整固定件连接所述载具主体与所述第一固定单元，其中一个所述调整固定件具有正螺纹，另一个所述调整固定件具有逆螺纹，所述调整固定件还具有：

延伸件；

滑件，所述滑件连接所述延伸件；

传导件，所述传导件具有：

伸缩口，所述延伸件位于所述伸缩口中，所述伸缩口具有滑槽，所述滑槽连接所述滑件。

2.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述凹口为V形。

3.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述凹口具有弹性。

4.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中,所述延伸件为圆柱形。

5.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中,所述伸缩口为圆柱形。

6.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述硅片腐蚀工艺固定载具还包括：

第二固定单元，所述第二固定单元连接所述载具主体，所述第二固定单元与所述载具主体的连接处具有轴承，所述第二固定单元具有：

容纳空间；

锁件，所述锁件位于所述容纳空间中，所述锁件具有导向面与定位槽。

7.根据权利要求1所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述载具主体还包括：

转件，所述转件连接所述第一固定单元；

凸件，所述凸件连接所述转件。

8.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述第二固定单元还具有：

按钮；

弹性件，所述弹性件连接所述按钮；

拉绳，所述拉绳一端连接所述按钮，所述拉绳另一端连接所述锁件。

9.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述第二固定单元还具有转轴。

10.根据权利要求6所述硅片腐蚀工艺固定载具，其中，所述锁件还具有锁定口。