[发明专利]基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极及其制作方法

权利要求书

1.一种基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的制作方法，其特征在于包括：

采用物理处理和/或化学处理方式对柔性衬底进行加工，以在所述柔性衬底的表面形成裂纹结构，所述裂纹结构包括复数条取向一致的裂纹，其中，所述的化学处理方式包括化学腐蚀方式，所述的物理处理方式包括紫外处理和氧等离子体处理中的任意一种；

在真空条件下采用 (3-巯基丙基)三甲氧基硅烷，在20-100℃下对所述裂纹结构进行表面修饰改性处理，所述 (3-巯基丙基)三甲氧基硅烷的用量为1-50μL/m²；

使所述柔性衬底处于拉伸状态，并至少在所述裂纹结构上形成导电层。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述的裂纹为微米级尺寸的裂纹。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于：所述裂纹的宽度为1-10μm。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述化学腐蚀方式包括酸处理。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述氧等离子体处理的时间为1-30min，功率10-500W，压强为1-500Pa。

6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述表面修饰改性处理的时间为5-300min。

7.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：至少采用磁控溅射、电子束蒸发、热蒸镀法和液相法中的任意一种方式在所述裂纹结构的表面形成所述导电层。

8.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述导电层的材质包括导电金属或导电非金属。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于：所述导电金属包括金、银、铜中的任意一种。

10.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于：所述导电非金属包括碳纳米管、石墨烯或导电聚合物。

11.根据权利要求10所述的制作方法，其特征在于：所述的导电聚合物包括聚3,4-乙烯二氧噻吩:聚苯乙烯磺酸盐(PEDOT:PSS)、聚吡咯(PPy)中的任意一种或两种的组合。

12.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于：所述柔性衬底的材质包括聚二甲基硅氧烷、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、脂肪族芳香族无规共聚酯、聚氨基甲酸酯、聚苯乙烯、苯乙烯一丁二烯一苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯一乙烯一丁烯一苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯一乙烯一丙烯一苯乙烯型嵌段共聚物中的任意一种或两种以上的组合。

13.由权利要求1-12中任一项所述的制作方法制作形成的基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极。

14.根据权利要求13所述的基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极，其特征在于：所述基于裂纹式柔性衬底的折叠式可拉伸电极的拉伸范围为0%-300%，电导率为0.1-10⁷Sm^-1。